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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201610811624.0有效
发明人：榎木田卓;中原田雅弘;宫田亮;木山秀和;饭田成昭 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-09-12 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置具有：承载区，其包含左右分开地设置的第1承载件载置部及第2承载件载置部；处理区，其具有将多个层部分上下配置而成的层构造，并且各层部分具有用于输送基板的基板输送机构和用于处理基板的处理组件；塔单元，其含有多个基板载置部，该多个基板载置部配置在可利用多个基板载置部各自所对应的层部分的基板输送机构交接基板的高度位置；第1基板移载机构，其用于在第1承载件载置部上的承载件与塔单元的各基板载置部之间移载基板；第2基板移载机构，其用于在第2承载件载置部上的承载件与塔单元的各基板载置部之间移载基板。
处理装置方法

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN202210458973.4在审
发明人：五师源太郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法，能够抑制形成于基板表面的图案倒塌。本公开的一个方式的基板处理装置包括批处理部、单张处理部以及搬送部。批处理部对包括多个基板的基板组一并进行处理。单张处理部对基板组中包括的基板逐张地进行处理。搬送部在批处理部与单张处理部之间逐张地交接基板。另外，批处理部具有处理槽，该处理槽用于贮存包含冲洗液的处理液。另外，搬送部具有流体供给部，在从接受到处理槽内的基板组中包括的基板起至将该基板交接到单张处理部为止，所述流体供给部向处理槽和基板中的至少一方供给表面张力比冲洗液的表面张力低的低表面张力流体。
处理装置方法

[发明专利]接合装置和接合方法-CN202211436039.9在审
发明人：福岛秀行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/50 文献下载
摘要：接合装置将第一基板与第二基板进行接合。接合装置具备第一保持部、第二保持部、移动部、第一变形部、第二变形部及控制部。第一保持部从第一基板的上方吸附并保持第一基板。第二保持部在比第一保持部更靠下方的位置从第二基板的下方吸附并保持第二基板。移动部使第一保持部和第二保持部相对地移动。第一变形部使保持于第一保持部的第一基板的中央部向下方突出。第二变形部使保持于第二保持部的第二基板的中央部向上方突出。控制部通过控制移动部、第一变形部以及第二变形部，来进行使第一基板与第二基板的中央部彼此接触的控制。控制部进行根据第二基板的中央部的突出量来变更第一基板的中央部的突出量的控制。
接合装置方法

[发明专利]基板固定结构-CN200980158575.3有效
发明人：广田秀行 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2009-12-16 - 公布日： 2012-02-29 - 主分类号： H05K7/04 文献下载
摘要：一种基板固定结构，在该结构中，将形成于不用螺钉固定的基板缘部的凸部(31)插入形成于筐体(2)的口形卡合部(25)，并将基板(3)的各边分别载置于兼用作基板支承件的螺钉固定部(21)以及在筐体(2)上切起形成的第一基板支承部(22)、第二基板支承部(26)，利用基板卡入部(23a、23b)夹持基板(3)，并将基板(3)的一边用螺钉固定于兼用作基板支承件的螺钉固定部(21)。
固定结构

[发明专利]基板搬送手、基板搬送机器人、及基板移载装置-CN201780050257.X有效
发明人：桥本康彦;吉田哲也 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种基板搬送手，具备基部，连结于机器人手臂；基板保持部，与基部结合，保持基板。此基板搬送手，从垂直贯穿保持于基板保持部的基板的方向亦即基板垂线方向观察，在基部与基板保持部的结合部或其附近折弯，基部与基板保持部作为整体呈现V字形状。
基板搬送手基板搬送机器人基板移载装置

[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN202010840506.9在审
发明人：角间央章;沖田有史;犹原英司;增井达哉;出羽裕一 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种不需要基准图像也能够判定基板是否被正常地保持的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具有：保持部，用于保持基板；拍摄部，用于在包括被保持的基板的外缘部的拍摄范围内对基板的多个部位进行拍摄，并且输出基板的多个图像数据；提取部，用于从多个图像数据之间的差分图像提取基板的外缘部；以及判定部，用于基于差分图像中的基板的外缘部，判定基板的保持状态。
处理装置以及方法

[发明专利]半导体装置的制造装置以及制造方法-CN201680070449.2有效
发明人：星野智久;滨田正人 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-11-22 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： C25D5/00 文献下载
摘要：半导体装置的制造装置具有：基板保持部，其用于保持基板；处理液供给部，其用于对被该基板保持部保持的基板供给处理液；电解处理部，其与该基板保持部相向地配置，用于对被该基板保持部保持的基板进行电解处理；以及端子，其用于对基板施加电压，其中，电解处理部具有：直接电极，其与被供给到基板的处理液接触且用于在该直接电极与基板之间施加电压；以及间接电极，其用于在被供给到基板的处理液中形成电场。
半导体装置制造以及方法

[实用新型]基板处理装置-CN201721858388.4有效
发明人：李气雨;崔宇喆 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及基板处理装置，进行基板研磨工序的基板处理装置包括：装载部，其用于装载基板；研磨部，其包括传送带、基板支撑部、研磨单元，所述传送带能沿着既定路径循环旋转，用于安放由装载部传送的基板，所述基板支撑部配置于传送带的内部，支撑基板的底面，所述研磨单元研磨基板的上表面；卸载部，其卸载在研磨部完成研磨的基板。本实用新型可以获得简化基板处理工序、缩短处理时间的有利效果。
基板处理装置传送带本实用新型基板支撑部研磨单元研磨部基板装载基板研磨工序处理工序既定路径简化基板循环旋转研磨基板支撑基板装载基板研磨上表面卸载部底面卸载传送配置

[发明专利]基板保持装置-CN202110189050.9在审
发明人：阿部贵宏;对马拓也;平尾智则 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2021-02-19 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明提供能够适当地保持基板的基板保持装置。上述基板具有：被电镀部，暴露于电镀液；以及边缘部亦即上述被电镀部的外侧区域。上述基板保持装置具备：把持模块，用于通过与基板的上述边缘部接触来把持基板；吸引模块，用于吸引并保持基板的上述被电镀部；以及凸部，设置于基板中的与上述被电镀部对应的位置，比上述吸引模块向被上述基板保持装置保持的基板突出
保持装置

[发明专利]摄像元件安装用基板及摄像装置-CN201680072511.1有效
发明人：三浦晃司;堀内加奈江 -专利权人：京瓷株式会社
申请日： 2016-12-14 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：摄像元件安装用基板具备无机基板、布线基板和接合材料。无机基板具有在上表面的中央区域安装摄像元件的摄像元件安装部。无机基板在包围摄像元件安装部的周边区域具有向上方隆起的突起部。布线基板被设置于无机基板的上表面，是包围摄像元件安装部、并且下表面的一部分与突起部相接的框状。布线基板在上表面具有透镜安装部。接合材料被设置于无机基板与布线基板之间。
摄像元件安装用基板装置

[发明专利]基板处理装置和基板收纳容器保管方法-CN202011195798.1在审
发明人：寺本聪宽;辻桥辰彦;井手康盛 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理装置和基板收纳容器保管方法。在使收纳了基板的基板处理容器暂时待机的保管部保管比以往更多的基板收纳容器。用于处理基板的基板处理装置具有：基板收纳容器载置部，其在基板处理装置载置基板收纳容器，该基板收纳容器收纳要处理的基板；以及保管区域，其配置为靠近基板收纳容器载置部，用于保管基板收纳容器，保管区域使在水平方向上载置并保管多个基板收纳容器的保管部具有上下多层，位于最上部的保管部能够在其与顶部行驶车之间交接基板收纳容器，顶部行驶车在基板处理装置的上方移动，处于位于最上部的保管部的下侧的其他保管部以与载置并保管在位于最上部的保管部的基板收纳容器不同的朝向载置并保管基板收纳容器
处理装置收纳容器保管方法

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN202210424072.3在审
发明人：坂崎哲也;森川胜洋 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法。用于提高基板的面内均匀性。实施方式所涉及的基板处理装置具备基板保持部、处理液供给部以及盖部。基板保持部用于水平地保持基板并使基板旋转。处理液供给部朝向保持于基板保持部的基板的一面侧供给处理液。盖部被设置为与基板的另一面相向，该基板的另一面是与一面相反的一侧的面。盖部具备加热基板的加热器。在盖部形成有开口部和多个气体供给口。开口部形成于与基板的中央部对应的位置。多个气体供给口在比开口部靠外周侧的位置朝向基板的另一面供给气体。气体被加热器加热。气体的至少一部分的供给量被基于基板的旋转速度来调整。
处理装置方法

[发明专利]丝网印刷设备和丝网印刷方法-CN201110304564.0有效
发明人：永尾和英 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2008-09-11 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： B41F15/08 文献下载
摘要：丝网印刷设备包括：两个印刷部，执行丝网印刷且相对于沿基板在部件安装线中的运送方向延伸的垂直对称平面彼此对称地布置；和基板移动台，设置成分别对应于两个印刷部，且从上游侧接收基板，以使基板相对于各印刷部定位，并使经受了各印刷部执行的丝网印刷的基板移动到下游侧。设置有基板移动台的各运送轨道用作基板引入部和基板排放部，通过基板引入部从部件安装线的上游侧引入基板，通过基板排放部将经受了各印刷部执行的丝网印刷的基板排放到部件安装线的下游侧。当各印刷部对基板执行的丝网印刷结束时，基板移动台使基板从各印刷部移动至设置在比各印刷部更接近垂直对称平面的部分处的基板排放部。
丝网印刷设备方法

[发明专利]部件安装线和部件安装方法-CN201110312216.8有效
发明人：永尾和英 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2008-09-11 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： B41F15/08 文献下载
摘要：丝网印刷设备包括：两个印刷部，执行丝网印刷且相对于沿基板在部件安装线中的运送方向延伸的垂直对称平面彼此对称地布置；和基板移动台，设置成分别对应于两个印刷部，且从上游侧接收基板，以使基板相对于各印刷部定位，并使经受了各印刷部执行的丝网印刷的基板移动到下游侧。设置有基板移动台的各运送轨道用作基板引入部和基板排放部，通过基板引入部从部件安装线的上游侧引入基板，通过基板排放部将经受了各印刷部执行的丝网印刷的基板排放到部件安装线的下游侧。当各印刷部对基板执行的丝网印刷结束时，基板移动台使基板从各印刷部移动至设置在比各印刷部更接近垂直对称平面的部分处的基板排放部。
部件安装方法

[发明专利]厚度测定装置和厚度测定方法-CN202180054442.2在审
发明人：田村武;児玉宗久;金子知广 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：一种测定基板的厚度的厚度测定装置，具备：基板保持部，其保持所述基板的中央部；测定部，其测定被所述基板保持部保持的所述基板的厚度；以及移动机构，其使所述基板保持部和所述测定部相对地沿水平方向移动，其中，在所述基板保持部形成有切口部，所述切口部从该基板保持部的中心部沿径向延伸到外端部，以供所述测定部自如地相对进退。
厚度测定装置方法

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