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[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201710790286.1有效
发明人：植木达博;张健 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-09-05 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法。提供能够抑制基板的周缘部处的斜切处理的切割宽度的变动的技术。基板处理装置(1)向旋转的基板(W)的周缘部赋予处理液。基板处理装置(1)具备旋转保持部(21)、处理液喷出部(73)、变动幅度获取部以及喷出控制部(7)。旋转保持部(21)保持基板(W)而使基板(W)旋转。处理液喷出部(73)向被旋转保持部(21)保持着的基板(W)的周缘部喷出处理液。变动幅度获取部获取与基板(W)的周缘部的变形量的变动幅度有关的信息。喷出控制部(7)根据由变动幅度获取部获取的与周缘部的变形量的变动幅度有关的信息来控制来自处理液喷出部(73)的处理液相对于周缘部的喷出角度和喷出位置。
处理装置方法

[发明专利]基板支承结构及基板支承结构的形成方法-CN202110528782.6在审
发明人：野泽惠太郎;清水秀彦;河合信次 -专利权人：矢崎总业株式会社
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H05K5/02 文献下载
摘要：基板支承结构具有：基板支承体，其被构成为具备支承体主体部和具有基端侧部位及前端侧部位并从支承体主体部突出的突起；以及基板，其具备基板主体部、设置于基板主体部的贯通孔和以包围贯通孔的方式从基板主体部的第一面突出的突出部，突起的基端侧部位穿过贯通孔且前端侧部位在突出部的内侧从基板主体部的第一面突出，并且将贯通孔覆盖，以与基板主体部卡合。
支承结构形成方法

[发明专利]电极接合结构体以及电极接合结构体的制造方法-CN201210140917.2有效
发明人：桂浩章;松野行壮;上田洋二 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2012-05-08 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： H01J11/22 文献下载
摘要：在该电极接合结构体中，柔性基板的端部的沿着柔性基板边缘的柔性基板区域隔着粘接构件、与第一玻璃基板的端部的相比沿着玻璃基板边缘的玻璃基板区域要处于内侧的玻璃基板区域进行接合，间隙形成在柔性基板的端部的相比沿着柔性基板边缘的柔性基板区域要处于内侧的柔性基板区域、与第一玻璃基板的端部的沿着玻璃基板边缘的玻璃基板区域之间，封固树脂构件形成为覆盖柔性基板的端部的柔性基板上表面，且至少进入间隙的一部分中，间隙的高度从第一玻璃基板的端部的玻璃基板边缘朝向粘接构件而变小
电极接合结构以及制造方法

[发明专利]基板浮起输送装置-CN201610579895.8有效
发明人：滨川健史;奥田大辅;森俊裕;冈本贯志 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2016-07-21 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供基板浮起输送装置，即使对于宽度方向上尺寸大的宽幅基板也能够一边高精度地维持平面度一边进行输送。该基板浮起输送装置具有：浮起载台部，其在输送方向上延伸，使基板浮起于基板浮起面上；以及基板保持部，其对浮起于基板浮起面上的基板进行保持，基板保持部在对浮起于基板浮起面上的状态的基板进行保持的状态下沿着输送方向进行移动，由此基板在浮起于基板浮起面上的状态下被输送，在浮起载台部与基板保持部之间具有辅助浮起支承部，在对宽度方向尺寸比基准大小的基板大的宽幅基板进行输送的情况下，辅助浮起支承部使从基板浮起面在宽度方向上伸出的宽幅基板的伸出区域浮起
浮起输送装置

[发明专利]基板处理装置-CN202010081318.2在审
发明人：大森圭悟 -专利权人：芝浦机械电子株式会社
申请日： 2020-02-06 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供能够在不对基板造成损伤的情况下提高基板的检测精度的基板处理装置。实施方式的基板处理装置(10)具有：沿着搬送路径(A1)搬送基板(W)的搬送部(30)；利用处理液对由搬送部(30)搬送的基板(W)进行处理的处理部(40)；基板检测部(50)，具有从搬送的基板(W)的下表面侧喷出流体的喷嘴(53a)和检测来自喷嘴(53a)的处理液已到达摆动部(51)的传感器部(52)；以及控制部(60)，基于从基板检测部(50)输出的检测信号检测基板(W)。
处理装置

[发明专利]涂敷装置、基板的交接方法及涂敷方法-CN200810136142.5有效
发明人：升芳明;清水昭宏;坂卷拓治 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2008-07-10 - 公布日： 2009-01-14 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明提供一种具备使基板浮起进行搬运的基板搬运部和在由所述基板搬运部搬运时向所述基板的表面涂敷液状体的涂敷部的涂敷装置、在与保持并搬运所述基板的外部搬运机构之间进行基板的交接的基板的交接方法及涂敷方法。在基板搬运部的搬入侧载物台以及搬出侧载物台分别设置有收容部，当在与外部搬运机构之间交接基板之际，所述收容部收容该外部搬运机构的一部分，在收容外部搬运机构一部分时进行基板的交接。
装置交接方法

[发明专利]基板处理装置、基板处理方法以及计算机可读取的记录介质-CN202180073335.4在审
发明人：小杉仁 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本公开说明一种基板处理装置、基板处理方法以及计算机可读取的记录介质，能够高精度地测定形成于基板的表面的膜的厚度。基板处理装置具备：旋转保持部，其构成为保持基板并使所述基板旋转；药液供给部，其构成为在旋转保持部使基板旋转期间向基板的表面供给蚀刻液；冲洗液供给部，其构成为在旋转保持部使基板旋转期间向基板的表面供给冲洗液；测定部，其构成为在测定头位于基板的表面附近的状态下测定膜的厚度；驱动部，其构成为在测定部进行测定期间，使测定头相对于基板的表面沿水平方向相对移动；以及辅助供给部，其构成为在测定部进行测定期间，向测定头与基板的表面之间的间隙供给冲洗液
处理装置方法以及计算机读取记录介质

[发明专利]基板处理装置-CN202310288031.0在审
发明人：根本脩平;正司和大;村元僚 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供向旋转的基板供给处理液来处理基板的基板处理装置，其成本低，且抑制跳回液滴，稳定地处理基板。本发明具备：基板保持部，其设置为能够一边吸附并保持基板的下表面中央部，一边绕沿铅垂方向延伸的旋转轴旋转；旋转机构，其输出用于使基板保持部旋转的旋转驱动力；处理机构，其向保持于基板保持部的基板供给处理液来处理基板；以及旋转杯部，其设置为能够包围旋转的基板的外周，并且绕旋转轴旋转，且捕集从基板飞散的处理液的液滴。旋转机构还具有将旋转驱动力的一部分作为杯驱动力传递至旋转杯部的动力传递部，通过旋转驱动力使基板保持部及旋转杯部同时进行旋转。
处理装置

[发明专利]电路基板搭接装置及利用该装置的电路基板搭接方法-CN200810172284.7有效
发明人：李寿镇 -专利权人：影像处理系统有限公司
申请日： 2008-11-04 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种电路基板搭接装置及利用该装置的电路基板搭接装置，该装置在附着有粘结用薄膜的底基板上搭接电路基板，其特征在于，包括：吸附部，用于吸附电路基板；基板支承架，从所述吸附部的起始位置开始以水平方向隔离布置，并用于支承所述底基板；旋转部，用于旋转所述吸附部或所述基板支承架；水平驱动部，用于在水平方向上移动所述吸附部；升降驱动部，用于把所述吸附部或所述基板支承架上下移动；第一光学部，布置在所述处于起始位置上的吸附部和所述基板支承架之间，并位于所述吸附部的下侧，用于摄像所述电路基板的对准标记；及第二光学部，其布置在所述基板支承架的下侧，用于摄像所述底基板的对准标记。
路基板搭接装置利用方法

[发明专利]基板搬送装置、基板搬送方法和涂布、显影装置-CN200610128533.3无效
发明人：中原田雅弘;石田省贵;山本太郎;森川胜洋 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-09-01 - 公布日： 2007-03-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种能够抑制由于基板背面附着的液滴引起的液滴重新附着在基板上等污染的基板搬送装置。该基板搬送装置具有对液浸曝光后的基板进行搬送的臂主体，其特征在于，包括：设置在上述臂主体上，支撑基板背面的周边的内侧的支撑部；为了限制上述基板的周边的位置，设置在隔着上述基板的周边与上述支撑部相对的位置的限制部；和在上述支撑部和限制部之间的基板背面的下方位置设置的液体接收部。基板背面的周边部附着的液滴能够落到液体接收部上。因此，即使反复进行基板的搬送，液滴积蓄在液体接收部中，由于基板的周边不与液体接收部碰撞，所以也可抑制该液滴飞散并附着在基板的表面上。
基板搬送装置方法显影

[发明专利]封装结构及光模块-CN201510695805.7有效
发明人：方习贵;王克武;周新军;王祥忠 -专利权人：苏州旭创科技有限公司
申请日： 2015-10-22 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H05K1/02 文献下载
摘要：本申请揭示了一种封装结构及光模块，所述封装结构包括：第一基板，所述第一基板为刚性基板，所述第一基板包括金手指端及与金手指端连接的第一安装部；第二基板，所述第二基板为柔性基板，第二基板包括与第一基板的金手指端固定安装的固定部、远离固定部的第二安装部、以及连接固定部与第二安装部的过渡部；若干电子器件和/或光学器件，所述电子器件和/或光学器件安装于第一基板的第一安装部上和/或第二基板的第二安装部上。本申请中刚性的第一基板和柔性的第二基板采用书页式设计结构，第一基板可用于贴装电子器件，第二基板可用于贴装光学器件，极大提高了第一基板上可贴装区域的面积，能够支持更复杂的电路设计。
封装结构模块

[实用新型]一种空调按键组件-CN201920262152.7有效
发明人：陆继丰;张群;江武华;王赫 -专利权人：惠州市嘉和立方科技有限公司
申请日： 2019-03-01 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： H01H13/12 文献下载
摘要：一种空调按键组件，包括基板，基板包括依次连接的左基板、中间基板和右基板，左基板和右基板以中间基板的中心线为中心左右对称设置，中间基板的宽度小于左基板的宽度，左基板、中间基板和右基板上各设有至少一个按键；按键包括高于基板表面的按压部和弹性部，以及基板内设置的空置腔，弹性部与按压部下端连接，弹性部为中空的圆台状，所述的空置腔内设有与按压部连接的凸台，凸台下表面设有由碳粒组成的碳粒层，按压部硬度大于弹性部的硬度，按压部与弹性部之间的夹角为105~160度，按键与基板为一体成型结构。
按压弹性部中间基板左基板按键基板右基板空置腔一体成型结构左右对称设置导电性本实用新型按键功能基板表面空调按键人体工学依次连接夹角为灵敏度舒适度碳粒层圆台状中空的碳粒凸台

[发明专利]基板处理装置及基板的制造方法-CN202110878876.6在审
发明人：滨田晃一;小林信雄 -专利权人：芝浦机械电子株式会社
申请日： 2017-02-24 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板处理装置及基板的制造方法。上述基板处理装置具备：基板支承部，支承基板；旋转部，使上述基板旋转；处理液供给部，向上述基板的表面供给处理液；以及控制部，上述控制部进行控制，使得在一个基板处理工序中、针对由上述旋转部旋转的上述基板持续地从上述处理液供给部连续地供给上述处理液、并一边将上述处理液从上述基板排出一边连续地进行基板处理的期间，以预先设定的规定的定时，定期地进行使上述处理液从上述基板排出的排液速度提高的排液处理，并且上述基板处理的最后以上述排液处理结束。
处理装置制造方法

[发明专利]显示面板、包含其的拼接显示装置及其制造方法-CN202210638869.3在审
发明人：林宜欣;陈文龙;廖唯伦 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2022-06-07 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：一种显示面板、包含其的拼接显示装置及其制造方法，显示面板包括：第一基板、第二基板、多个发光元件、粘合层以及驱动元件。第一基板包括平坦部及弯折部。第二基板位于第一基板上。多个发光元件配置于第二基板上。粘合层位于第一基板的平坦部与第二基板之间。驱动元件位于第一基板的弯折部的第一表面，且电性连接多个发光元件。弯折部的第一表面延伸自平坦部的靠近第二基板的表面，且弯折部于垂直方向的投影在第二基板内。
显示面板包含拼接显示装置及其制造方法

[发明专利]机器人以及基板姿势检查方法-CN202180054635.8在审
发明人：清水一平;冈田拓之;山中大辅;阿部任弘;佐藤淳一 -专利权人：川崎重工业株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-08-29 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括手部、臂部、基板检测部以及基板姿势检查部。所述手部保持且运送所述基板。所述臂部连接在所述手部，使所述手部移动。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板姿势检查部根据没有由所述手部所保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度，来检查所述基板的姿势。
机器人以及姿势检查方法