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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]加热腔室-CN202080062243.1在审
发明人： T.里韦尔;J.科瓦尔齐克 -专利权人：日本烟草国际股份有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： A24F40/70 文献下载
摘要：一种制造用于气溶胶产生装置(200)的加热腔室(100)的方法包括以下步骤：提供金属管状构件(10)，该金属管状构件包括具有开放端(12)的管状侧壁(11)；该管状侧壁具有不超过0.15mm的厚度；将该管状构件插入管状模具通过使用流体压力来成形该管状构件，可以将所需的轮廓形状高精度地传递到该管状构件，同时将腔室壁的厚度保持在0.15mm以下，以在使用期间向消耗品提供有效的热传递。
加热

[发明专利]加热腔室-CN201610110743.3有效
发明人：王建勋;谢军 -专利权人：广东思沃精密机械有限公司
申请日： 2016-02-29 - 公布日： 2018-01-02 - 主分类号： B32B37/06 文献下载
摘要：一种加热腔室，包括上腔体构件、下腔体构件及真空发生器，下腔体构件与上腔体构件与之间形成有进入通道；真空发生器分别与上腔体构件和下腔体构件相连接。在对贴附有薄膜的非平整板材的加热对象进行加热时，通过真空发生器对上腔体构件抽真空，待其抽真空至指定值时，使下腔体构件破真空，以使贴附在非平整板材上的薄膜压向贴合在非平整板材上；接着，向下腔体构件通入高压气体，以增加薄膜压向贴合在非平整板材上的贴合压力；达到指定时间后，使上腔体构件破真空，并使下腔体构件排出高压气体；接着，使下腔体构件远离上腔体构件，直至回到初始位置；最后，使已加热的贴附有薄膜的非平整板材离开进入通道
加热

[实用新型]加热腔室-CN201620152745.4有效
发明人：王建勋;谢军 -专利权人：广东思沃精密机械有限公司
申请日： 2016-02-29 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： B32B37/06 文献下载
摘要：一种加热腔室，包括上腔体构件、下腔体构件及真空发生器，下腔体构件与上腔体构件与之间形成有进入通道；真空发生器分别与上腔体构件和下腔体构件相连接。在对贴附有薄膜的非平整板材的加热对象进行加热时，通过真空发生器对上腔体构件抽真空，待其抽真空至指定值时，使下腔体构件破真空，以使贴附在非平整板材上的薄膜压向贴合在非平整板材上；接着，向下腔体构件通入高压气体，以增加薄膜压向贴合在非平整板材上的贴合压力；达到指定时间后，使上腔体构件破真空，并使下腔体构件排出高压气体；接着，使下腔体构件远离上腔体构件，直至回到初始位置；最后，使已加热的贴附有薄膜的非平整板材离开进入通道
加热

[发明专利]加热腔室盖-CN201980073502.8在审
发明人：尼古拉斯·艾伦·布朗;尼古拉斯·赫德利·丘布 -专利权人： JT国际公司
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： A61M15/00 文献下载
摘要：一种蒸气产生装置包括布置成接纳蒸气产生物质的加热腔室以及布置成关闭该加热腔室的盖。该装置进一步包括布置成当该加热腔室的温度超过预定阈值时防止该盖从关闭位置移动到打开位置的锁定机构。
加热腔室盖

[发明专利]腔室加热装置-CN201210014888.5有效
发明人：席峰;李楠;李勇滔;张庆钊;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2012-01-17 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了一种腔室加热装置，包括：腔室壁加热结构和/或载片台加热结构；所述腔室壁加热结构设置在反应腔室的内壁上；所述载片台加热结构设置在载片台底部。本发明提供的一种腔室加热装置，例如在等离子体刻蚀工艺中可以减小或避免等离子体启辉由于结构不对称引起的不均匀现象的出现；在等离子体启辉条件下，本发明的电极固定结构没有放气现象，可以保持真空腔室对真空度的要求
加热装置

[发明专利]基片加热腔室、使用基片加热腔室的方法及基片处理设备-CN201010606908.9有效
发明人：夏威 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2010-12-16 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明提供一种基片加热腔室、使用基片加热腔室的方法以及基片处理设备。其中，基片加热腔室至少可同时加热2片基片，用于在基片处理工艺之前对基片进行加热。借助该基片加热腔室对基片进行加热能够有效避免后续的基片处理工艺因等待基片加热而处于空闲状态的问题，从而可有效提高设备的产能利用率。此外，本发明提供的使用基片加热腔室的方法及基片处理设备同样能够有效提高设备的产能利用率。
加热使用方法处理设备

[发明专利]一种加热腔室-CN201310526264.6在审
发明人：刘红义 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-10-30 - 公布日： 2015-05-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种加热腔室，用于加热工件，所述加热腔室包括：主腔室，所述工件能够竖直地设置在所述主腔室中；热源腔室，所述热源腔室设置于所述主腔室的至少一侧并与所述主腔室固定连接，以对所述主腔室内的工件进行加热本发明能够对工件进行均匀加热以除去工件上吸附的水蒸气以及易挥发杂质，与现有技术相比，本发明能够使得工件的受热更加均匀，使得杂质去除更加干净，同时，避免了杂质以及有机物挥发后对工件造成的污染。此外，本发明还可以同时对多个工件的加热，显著提高了生产效率。
一种加热

[发明专利]加热装置和工艺腔室-CN201710357889.2在审
发明人：邓玉春 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于半导体制备技术领域，具体涉及一种加热装置和工艺腔室。该加热装置包括加热盘和固定组件，所述加热盘用于承载并加热待加工工件，所述固定组件用于将所述加热盘固定于腔室中，其中，所述加热装置还包括隔热盘，所述隔热盘设置于所述加热盘与所述固定组件之间，用于阻隔所述加热盘向所述固定组件及腔室内扩散热量本发明中的加热装置，通过使用导热性能低的隔热盘将加热盘与固定组件进行热分离，降低了加热盘向腔室壁传导的热量，并减小了固定组件向腔室内扩散热量，从而提高加热装置的温度均匀性，保证工艺温度。
加热盘固定组件加热装置隔热盘工艺腔室室内半导体制备待加工工件温度均匀性扩散导热性能腔室壁热分离传导减小腔室加热阻隔承载保证

[发明专利]一种加热腔室-CN201310685118.8有效
发明人：刘红义 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2013-12-12 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种加热腔室，包括热源腔室和主腔室，所述热源腔室与所述主腔室固定连接，以对设置在所述主腔室内的工件进行加热，其中，所述主腔室内还设置有用于支撑所述工件的支撑机构，所述支撑机构能够绕自身轴线旋转在本发明中，所述主腔室内设置有支撑机构，在加热过程中，所述支撑机构能够绕自身轴线旋转，从而对工件进行更加均匀的加热以除去工件上吸附的水蒸气以及易挥发杂质，进而提高产品质量。
一种加热

[发明专利]多腔室型加热单元-CN201880028289.4在审
发明人：权纯德;闵斗植;金承贤 -专利权人：亚进产业株式会社
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： B21D37/16 文献下载
摘要：本发明提供了占据小的安装空间并且能够有效地执行坯料加热处理的多腔室型加热单元。根据本发明，用于对坯料进行加热的多腔室型加热单元包括：下壳体单元；中间壳体单元，该中间壳体单元被安装在所述下壳体单元的上部；以及上壳体单元，该上壳体单元被安装在所述中间壳体单元的上部。多个中间壳体被层叠成形成中间壳体单元，并且在中间壳体中的每一个中安装有用于对坯料进行加热的加热单元。此外，中间壳体被形成为其上部和下部敞口的形状，并且在前部中形成有供门插入到其中的开口。
中间壳体加热单元多腔室上壳体下壳体坯料加热安装空间坯料加热敞口的有效地前部开口占据

[发明专利]具有加热腔室衬垫的处理室-CN200880002923.3有效
发明人：马克·A·福多尔;索菲亚·M·维拉斯泰古依;金·博可因;戴尔·R·杜波依斯 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-01-15 - 公布日： 2009-11-25 - 主分类号： C23F1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种适于覆盖等离子体处理室内部的加热器衬垫组件。在部分实施方式中，一种用于处理室的衬垫组件包括嵌设于主体中的加热元件；一凸缘由主体的一外径往外延伸，并且凸缘包括具有一密封表面的一上表面；以及至少一接触垫由凸缘的上表面延伸至一超过密封表面的高度。
具有加热衬垫处理

[实用新型]一种热处理装置-CN202022000335.7有效
发明人：马兰 -专利权人：量伙半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热处理装置，包括第一加热腔室、第二加热腔室、加热装置和固定装置，第一加热腔室包括上腔室和下腔室，加热装置包括上加热装置和下加热装置，上加热装置位于上腔室，下加热装置位于下腔室；第二加热腔室位于上腔室和下腔室之间；上腔室和下腔室的侧壁分别设有至少一组固定孔，上腔室和下腔室的固定孔位于第一加热腔室的不同侧壁，加热装置设置于固定孔中，加热装置的末端从固定孔中伸出，并延伸至固定装置的外部，上加热装置和下加热装置在第一加热腔室的底部所在的平面上的投影相互垂直；固定装置连接于第一加热腔室的外壁，用于将加热装置固定在固定孔内。
一种热处理装置

[实用新型]一种热处理装置-CN202022001994.2有效
发明人：马兰 -专利权人：量伙半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热处理装置，包括第一加热腔室、第二加热腔室、加热装置和固定装置，第一加热腔室包括上腔室和下腔室，加热装置包括上加热装置和下加热装置，上加热装置位于上腔室，下加热装置位于下腔室；第二加热腔室位于上腔室和下腔室之间；上腔室和下腔室的侧壁分别设有至少一组固定孔，加热装置设置于固定孔中，加热装置的末端从固定孔中伸出，并延伸至固定装置的外部；固定装置连接于第一加热腔室的外壁，用于将加热装置固定在固定孔内。
一种热处理装置

[实用新型]双层加热腔室和双层加热腔体组件-CN201821621125.6有效
发明人：李丙科;陈庆敏 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2018-09-30 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双层加热腔室和双层加热腔体组件。双层加热腔室用于原子层沉积装置，包括第一腔体和第二腔体，第一腔体内至少固定容置有1个第二腔体，第一腔体和第二腔体的内壁间隔设置。第一腔体内铺设有加热管，加热管至少包围第二腔体的。本实用新型实施方式的双层加热腔室中，加热管和第二腔体不接触，加热管产生的热量通过第一腔体和第二腔体之间传递到第二腔体中，避免第二腔体中的材料在持续高温环境中发生氧化，附着在第二腔体中的待加工元件表面，影响加工质量
第二腔体双层加热腔室第一腔体加热管本实用新型腔体组件原子层沉积装置体内加工元件表面持续高温固定容置间隔设置不接触附着内壁热管包围铺设传递加工

[实用新型]玻璃热弯机-CN201721576605.0有效
发明人：徐江霖 -专利权人：广东震仪智能装备股份有限公司
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： C03B23/023 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种玻璃热弯机，包括工作室，所述工作室包括加热成型腔室及冷却腔室，所述加热成型腔室用于对模具内的玻璃进行加热成型处理，所述冷却腔室用于对加热成型后的玻璃进行冷却退火处理，所述加热成型腔室与所述冷却腔室之间设置有密封门，所述密封门用于隔离所述加热成型腔室与所述冷却腔室。如此，由于通过密封门将加热成型腔室与冷却腔室隔离开，避免加热成型腔室的高温影响冷却腔室，从而提高了生产的良品率。
加热成型冷却腔室腔室玻璃热弯密封门工作室隔离本实用新型玻璃高温影响退火处理良品率密封模具冷却生产

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