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[发明专利]冷却水应急供水系统及方法-CN202111635704.2有效
发明人：王鹏;刘澈;李锦生;王凌旭;周劲松;程宽;马思奇 -专利权人： 世源科技工程有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F25D17/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种冷却水应急供水系统及方法，在集水槽内设置潜水泵，在供水管道上设置水箱、稳压装置、止回阀、第一压力开关。响应于第二压力开关和第三压力开关信号，控制箱发送信号启动和关闭稳压泵，使供水管道内保持稳定压力。当冷却水给水管道内失压，止回阀开启，气压水罐以预定压力向冷却水给水管道供水。响应于第一压力开关信号，控制箱发送信号启动潜水泵，潜水泵从集水槽吸水进入供水管道，冷却水从设备处喷出，在地面汇集到集水槽内。利用少量的集水槽水作为水源，冷却水循环使用，不需设置大水池和外部水源供水。本系统构成简单，适用于新建和改造项目，建设灵活性高，投资和运维成本低。
冷却水应急供水系统方法

[发明专利]一种有机废气浓缩吸附一体化设备-CN202311085558.X在审
发明人：孙孝宏;彭定志;秦学礼;徐刚;刘建强 -专利权人： 世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司
申请日： 2023-08-27 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B01D53/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种有机废气浓缩吸附一体化设备。包括侧部带有进气接口的主箱体，在主箱体的顶部设有排气通道，在主箱体内安装有由驱动装置驱动转动的转笼装置，在转笼装置上安装有多个可拆卸的吸附组件，在主箱体的顶壁上设有与排气通道贯通的窗口且在窗口的下方安装有顶部外套筒，在转笼装置的顶部设有与顶部外套筒插接连接的顶部内套筒；还包括脱附装置，脱附装置包括脱附进气管道及与其连接的内侧气箱、脱附排气管道及与其连接的外侧气箱，还包括内侧弧形板和外侧弧形板，内侧气箱与内侧弧形板上的窗口连接，外侧气箱与外侧弧形板上的窗口连接。本发明提供了结构设计合理的浓缩吸附一体化设备，对有机废气处理能效高，实现在线脱附且维护便利。
一种有机废气浓缩吸附一体化设备

[发明专利]一种FFU的智能调控节能系统及智能调控方法-CN202311107606.0在审
发明人：孙孝宏;尹训鹏;秦学礼;徐刚;彭定志;阎冬;刘建强 -专利权人： 世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司
申请日： 2023-08-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： F04D27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种FFU的智能调控节能系统。包括主控制模块，提供控制功能；模拟量输入模块，用于对模拟量进行模数转换并将数字信号发送给主控制模块；模拟量输出模块，与FFU风机连接，由主控制模块接收控制信号并进行数模转换，对FFU风机进行转速控制；数字量输入模块，与FFU控制器连接，将FFU控制器生成的状态信息发送给主控制模块；数字量输出模块，与FFU控制器连接，将主控制模块生成的控制指令下发给FFU控制器；人员标签定位模块，用于对人员佩戴的标签进行定位，测量人员流动情况；PID调控模块，与FFU风机连接，由主控制模块接收控制参数并对FFU风机进行转速控制。本发明通过优化FFU风机转速的控制结构及方法来降低运行能耗。
一种 ffu 智能调控节能系统方法

[发明专利]一种水箱组件及光刻机浸液供给系统-CN202310911241.0在审
发明人：王鹏;李刚 -专利权人： 世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院有限公司
申请日： 2023-07-24 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机浸液供给技术领域，公开一种水箱组件及光刻机浸液供给系统，水箱组件包括:第一水箱和第二水箱，第二水箱位于第一水箱内，第一水箱的顶部具有溢流口，第二水箱的顶部具有浸液降流口，且第一水箱的溢流口高于第二水箱的浸液降流口；第一水箱的底部与浸液进液口连通，第二水箱的底部与浸液出液口连通。进入第一水箱内的浸液升流并分成两股水流，一股浸液在浸液降流口K1开始降流，进入第二水箱，另一股浸液经溢流口向第一水箱外溢流。浸液折返出流过程中，进行逆流式换热和温度补偿，温度控制精准、稳定，并减少细微气泡的产生，减少氧气等气体溶入，降低溶解氧、气泡、细菌、颗粒、有机物等二次污染，降低压力、温度、流量波动。
一种水箱组件光刻浸液供给系统

[发明专利]一种集成电路产线多级仿真布局的生成方法及装置-CN202310974734.9有效
发明人：李强;程孟璇;杨光明;程星华;蒋星波;潘劲咏;李维哲 -专利权人：中国电子工程设计院有限公司;世源科技工程有限公司
申请日： 2023-08-04 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G06F30/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成电路产线多级仿真布局的生成方法及装置，方法包括如下步骤：获取集成电路产线布局的需求设备，形成待布局设备清单；按照工艺区域、生产单元和设备的模块层级，对待布局设备清单中的待布局设备进行标签化处理，获得包含模块层级信息的集成电路产线布局数据清单；基于集成电路产线布局数据清单，结合多级布局策略，完成集成电路产线多级仿真布局。本发明结合智能多模块层级的方法，针对超大规模的集成电路生产线，实现快速、精准的产线布局。
一种集成电路多级仿真布局生成方法装置

[发明专利]一种含有四甲基氢氧化铵的废水处理系统及方法-CN202210685804.4有效
发明人：刘澈;王鹏;李锦生;王凌旭;张海军;于鲲;刘艳坡 -专利权人： 世源科技工程有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种含有四甲基氢氧化铵的废水处理系统及方法，包括酸碱调节单元、高级氧化处理单元和Bardenpho处理系统；高级氧化处理单元为VUV反应器，内部设置真空紫外线灯管，向反应器前的管道内投加氧化剂，紫外线活化氧化剂产生自由基，对废水中的四甲基氢氧化铵进行降解；Bardenpho处理系统对高级氧化处理单元的出水进行生化需氧量去除和生物脱氮处理。本发明系统的高级氧化处理单元中，真空紫外线同时辐照过二硫酸盐和过氧乙酸能产生协同作用，对四甲基氢氧化铵具有更高的氧化效率，能够完全降解废水中的四甲基氢氧化铵。该处理系统出水化学需氧量和氨氮指标优于国家或地方排放标准。
一种含有甲基氢氧化铵废水处理系统方法

[发明专利]一种电子厂房的建筑结构及其施工方法-CN202310717319.5在审
发明人：徐志强;赵广鹏;张玉红 -专利权人：中国电子工程设计院有限公司;世源科技工程有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： E04H9/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种电子厂房的建筑结构及其施工方法，其特征在于，所述建筑结构包括基础筏板、预制梁、预制格构梁、大跨度钢桁架、钢筋混凝土预制柱、钢筋混凝土现浇柱及钢管混凝土现浇柱；钢筋混凝土预制柱与预制格构梁、基础筏板铰接；钢筋混凝土现浇柱与预制格构梁铰接，与基础筏板刚接；钢管混凝土现浇柱与大跨度钢桁架、基础筏板刚接；预制梁与钢筋混凝土预制柱、钢筋混凝土现浇柱及钢管混凝土现浇柱铰接。采用本发明能够保证主体结构提供足够的抗侧刚度以满足建筑结构的抗震能力要求，简化预制构件连接节点的构造措施，提高施工效率及施工质量，在保证建筑抗震性能的前提下，缩短了电子厂房的建造周期。
一种电子厂房建筑结构及其施工方法

[实用新型]一种超纯水终端超滤替代装置-CN202320989305.4有效
发明人：王鹏;李刚 -专利权人： 世源科技工程有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C02F1/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及超纯水净化技术领域，公开一种超纯水终端超滤替代技术。本实用新型特别涉及一种超纯水终端超滤替代装置，该装置包括：过滤组件、进水管路、总产水管路、浓水排水管路，所述过滤组件包括膜壳、膜元件，所述膜元件，优选纳滤膜，优选端面自锁膜，优选宽流道膜，本实用新型取消膜元件通常标配的盐水密封圈，所述膜壳与所述膜元件之间的间隙形成首尾贯通的通畅浓水通路，消除了传统工艺中盐水密封圈所造成间隙死水区，减缓细菌滋生，使颗粒更易经此通路排放，从而降低膜元件颗粒堵塞风险，提高颗粒去除效果，保障产水水质的颗粒指标。本实用新型打破了盐水密封圈所造成的膜元件层层加码浓缩的局面，使过滤装置整体压差得以降低。
一种超纯水终端超滤替代装置

[实用新型]过滤装置及过滤设备-CN202320100212.1有效
发明人：李卫;徐刚;周涛 -专利权人： 世源科技工程有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B01D46/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种过滤装置及过滤设备。该过滤装置包括架体，及多个过滤片、第一挡片和第二挡片。架体沿第一方向的第一侧具有第一开口，架体沿第一方向的第二侧具有第二开口。多个过滤片设置于架体的容纳空间，每个过滤片沿第一方向设置。多个第一挡片位于架体的第一侧，且每个第一挡片分别与两个相邻的过滤片连接。多个第二挡片位于架体的第二侧，且每个第二挡片分别与两个相邻的过滤片连接。多个第一挡片与多个第二挡片沿垂直于第一方向的第二方向交替排布。本申请的过滤装置，通过多个过滤片对流经过滤装置的气流进行过滤，相邻过滤片的间隙通过第一挡片和第二挡片交替封堵，可以确保气流充分地流经过滤片，过滤装置的过滤效率较高。
过滤装置设备

[实用新型]一种外墙板变形缝结构-CN202320345338.5有效
发明人：冯绍聪;赵茂海 -专利权人： 世源科技工程有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： E04F13/08 文献下载
摘要：本申请公开了一种外墙板变形缝结构。上述外墙板变形缝结构，安装于建筑构件，所述建筑构件包括第一柱梁结构单元和第二柱梁结构单元，所述第一柱梁结构单元和所述第二柱梁结构单元之间设有结构变形缝。上述墙体结构变形缝结构包括第一支架、第二支架、第一墙板和第二墙板，所述第一墙板通过所述第一支架安装于所述第一柱梁结构单元，所述第二墙板通过所述第二支架安装于第二柱梁结构单元，所述第一墙板在所述外墙的垂直投影完全覆盖所述结构变形缝，所述第一墙板和所述第二墙板之间具有间隙。本申请解决了变形缝盖板与墙体整体视觉效果不统一，并且加装的外墙板在变形缝区域由于未断开容易变形难以修复的问题。
一种外墙变形缝结构

[实用新型]一种干式吸附装置-CN202320701887.1有效
发明人：秦学礼;李卫;徐刚;张荣军;彭定志 -专利权人： 世源科技工程有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B01D53/02 文献下载
摘要：本申请涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种干式吸附装置。干式吸附装置包括吸附单元，吸附单元包括壳体和设置于壳体内的至少一个滤料填充床，壳体具有进气口和出气口，至少一个滤料填充床位于进气口和出气口之间；至少一个袋进袋出卸料单元，至少一个袋进袋出卸料单元与至少一个滤料填充床通过出料管连通；控制单元，控制单元包括至少一个闸板，每个出料管上均设置有一个可相对于出料管移动的闸板，闸板可控制袋进袋出卸料单元与滤料填充床之间的通断；手套箱，手套箱设置于滤料填充床与袋进袋出卸料单元之间，且当袋进袋出卸料单元与滤料填充床的连通时，至少部分闸板位于手套箱内。本申请中的干式吸附装置，可降低人员与有害滤料接触的机率。
一种吸附装置

[发明专利]一种用于半导体生产线的布局寻优方法及装置-CN202310974737.2在审
发明人：程孟璇;罗桥;安利壮;刘霓昀;刘雅茜;周倩;冷芳赫 -专利权人：中国电子工程设计院有限公司;世源科技工程有限公司
申请日： 2023-08-04 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G06F30/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体生产线的布局寻优方法及装置，方法包括如下步骤：基于半导体生产线的需求，获取待布局的工艺区清单；根据生产车间排布模型，完成针对待布局的工艺区清单的初始排布；获取并分析由车间面积参数确定的目标函数，搜寻初始排布的最优尺寸；更新工艺区的排布次序，迭代并分析目标函数，且进行最优排布尺寸的搜寻；至目标函数达到终止条件，结束迭代过程，确定半导体生产线的布局。本发明通过分析目标函数对半导体生产线的生产车间排布进行比选，获取最优解，以此提升半导体生产线的利用率。
一种用于半导体生产线布局方法装置

[发明专利]一种洁净室隔墙的施工方法及洁净室隔墙-CN202310355074.6在审
发明人：马瑞;张向洲;罗震 -专利权人： 世源科技工程有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： E04B2/74 文献下载
摘要：本发明涉及洁净室技术领域，特别是涉及一种洁净室隔墙的施工方法及洁净室隔墙，包括：在洁净室内划定施工区域，并将上隔断吊起施工，在上隔断下方预留下隔断的安装位置，当所述上隔断安装完毕后，在施工区域内安装支撑炮筒，将高架地板和下隔断安装至支撑炮筒上，将上隔断与下隔断连接。分段安装的上隔断与下隔断在拆除时，只需要仅将上隔断与下隔断的连接处进行拆除，便能够实现将上隔断与下隔断之间的拆除，节约了洁净室中的隔断在拆装重组时的工期。
一种洁净室隔墙施工方法

[发明专利]光刻机用真空系统及光刻机-CN202310652656.0在审
发明人：王鹏;李刚 -专利权人： 世源科技工程有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机用真空系统及光刻机，系统中，至少一个气液分离装置包括，真空罐，其为密封结构，真空罐内容纳具有第一液面的液体和位于液体上方的气体，抽排管路，其连通真空罐以导入来自光刻机的气液两相流，泵，其连通真空罐以抽吸其中的气体；至少一个液封装置，液封装置容纳具有恒定高度的第二液面的液体，液封装置经由液体导流管路液体连通真空罐以构成连通器，液封装置内具有恒定气压，泵控制真空罐内气压且同时实现控制真空罐内液位。本系统为单排系统，泵控制真空罐内气压且同时实现控制真空罐内液位且可靠性及精度高。
光刻真空系统

[实用新型]一种增强密封的沸石转轮设备-CN202320842432.1有效
发明人：彭定志;秦学礼;徐刚;刘建强 -专利权人： 世源科技工程有限公司
申请日： 2023-04-16 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B01D53/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种增强密封的沸石转轮设备。在前部的十字支架的上部安装有内侧敞口、顶部带有脱附进气接口的脱附前罩箱，在后部的十字支架的上部安装有内侧敞口、顶部带有脱附排气接口的脱附后罩箱以及内侧敞口、顶部带有冷却进气接口的冷却前罩箱；在脱附前罩箱的内侧安装有第一安装骨架且安装有第一气胀密封条，在脱附后罩箱和冷却前罩箱的内侧安装有第二安装骨架安装有第二气胀密封条，还包括通过气管与两个气胀密封条连接并且向气胀密封条内注入压缩空气令其膨胀的供气组件。本实用新型提升了内部关键位置密封效果的有效性和可靠性，同时通过提供补偿手段在较长运转周期内保持密封效果，减少脱附气流和冷却气流的流失。
一种增强密封转轮设备

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