[发明专利]一种发光芯片及其制作方法有效
| 申请号: | 202310602152.8 | 申请日: | 2023-05-26 |
| 公开(公告)号: | CN116344688B | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
| 发明(设计)人: | 王嘉诚;张少仲;张栩 | 申请(专利权)人: | 中诚华隆计算机技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/14;H01L33/10;H01L33/44;H01L33/00;B82Y40/00 |
| 代理公司: | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人: | 刘晓 |
| 地址: | 100012 北京市朝*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: |
本发明涉及一种发光芯片及其制作方法,属于半导体器件技术领域。所述发光芯片依次包括衬底、连接第一电极的第一半导体层、光提取层、有源层和连接第二电极的第二半导体层;衬底中掺杂有铝,且衬底中铝的含量向生长侧递增;光提取层为氮化铝层,其靠近有源层一侧开设有纳米孔阵列,纳米孔的深度为光提取层厚度的40~60%;有源层为多个In |
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| 搜索关键词: | 一种 发光 芯片 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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