[发明专利]环沟道型晶体管及其制备方法

摘要

本发明提供一种环沟道型晶体管及其制备方法，其中的环沟道型晶体管包括沿垂直方向呈圆柱形排列的晶体管单元；其中，所述晶体管单元由内向外依次包括晶体管栅极、环绕所述晶体管栅极设置的栅介质和环绕所述栅介质设置的环形沟道；所述晶体管单元的源极和漏极通过在垂直方向上层叠设置在所述环形沟道外的金属连线引出。本发明能够用于操作三维堆叠的不同行的新型存储器，使得三维堆叠新型存储器成为可能，大幅提高存储阵列的密度，降低对场效应晶体管的驱动能力的要求。