[发明专利]一种VS2x在审

专利信息
申请号: 202310365615.3 申请日: 2023-04-07
公开(公告)号: CN116949419A 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 段曦东;李佳;李鑫 申请(专利权)人: 湖南大学
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30;C23C16/52
代理公司: 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 代理人: 盛武生
地址: 410082 湖*** 国省代码: 湖南;43
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明属于二维材料技术领域,具体涉及一种VS2xSe2(1‑x)合金二维材料的功函数可控制备方法,将重量比为1~3:9~11:1的VCl3、Se粉和S粉分别设置在气相沉积管的高温区、中温区以及低温区,对各温区进行加热使各原料挥发并在载气携带下在基底表面化学沉积;期间通过调控低温区的温度调控化学沉积产物的合金组分,从而调控产物功函数,制得不同功函数的VS2xSe2(1‑x)合金二维材料;其中,0x1;低温区温度的调控区间为170~215℃;高温区的温度为400~500℃,中温区的温度为300~400℃,化学沉积阶段的温度为570~620℃,载气为含氢气氛。本发明还包括所述制备方法制得的材料及其在异质结可控制备中的应用。本发明所述的方法,能够实现材料功函数的连续控制。
搜索关键词: 一种 vs base sub
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说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

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