[发明专利]碳化硅外延生长管路系统

摘要

本发明公开一种碳化硅外延生长管路系统，其包括储液装置、输入单元以及输出单元，储液装置包括恒温机构及设于其内的液罐，输入单元包括一输入管路，输入管路的两端分别密封地连接于液罐、载气源，输入管路上设有第一流量控制器；输出单元包括输出主管路以及并联于其的多个输出支管路，输出主管路的一端密封地连接于液罐并且其上设有压力控制器，至少一部分输出支管路上设有第二流量控制器，第二流量控制器用于控制其所在的输出支管路的流量。本发明可以实现各输出支管路的流量的分别独立控制，以及各输出支管路的剂量分配比例可调，尤其适用于大尺寸(8‑12吋)外延炉腔，以在大尺寸外延片的制备中提高其浓度均匀性与厚度均匀性等。