[发明专利]半导体器件及其测试方法和制备方法以及存储系统在审
| 申请号： | 202210621163.6 | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN115020381A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 黄开谨 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 孟霞 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种半导体器件及其测试方法和制备方法以及存储系统，其中，半导体器件至少包括第一半导体结构和第二半导体结构，其中，第一半导体结构和第二半导体结构之间具有键合界面，半导体器件还包括多条链结构，多条链结构至少包括第一链结构和第二链结构，第一链结构和第二链结构各独立设置于第一半导体结构和第二半导体结构内，且各穿过键合界面，本发明通过在半导体器件中设置穿过键合界面且相互独立的第一链结构和第二链结构，可以检测出半导体器件的键合界面是否有断路以及是否有短路的情况，提高了对半导体器件进行电学测量的全面性。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 及其 测试 方法 制备 以及 存储系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210621163.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
