[发明专利]半导体结构在审
申请号: | 202210306481.3 | 申请日: | 2022-03-25 |
公开(公告)号: | CN114864506A | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 黄善瑜;锺孝文;陈怡伦;林晃生 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00;H01L21/762;H01L21/8234 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 闫华 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本公开提出一种半导体结构。半导体结构包括两个电路区域;两个内部密封圈,两个内部密封圈中的每一个围绕两个电路区域的一个;一外部密封圈,围绕两个内部密封圈,其中内部密封圈和外部密封圈中的每一个具有一大致上矩形的周边,大致上矩形的周边具有四个内角密封圈结构;四个第一冗余区域,在两个内部密封圈和外部密封圈之间,四个第一冗余区域中的每一个为一大致上梯形形状;以及多个第一虚拟图案,大致上均匀地分布于四个第一冗余区域。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 | ||
【主权项】:
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