[发明专利]一种掩膜版、制作方法及制作夹具在审
| 申请号： | 202210105205.0 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114411091A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 刘鑫;郑庆靓;李博;吴义超;赵阳;周俊吉 | 申请（专利权）人： | 成都拓维高科光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人： | 朱彬 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版、制作方法及制作夹具，涉及显示设备技术领域；技术方案：掩膜版本体工作面上拱，能够提高掩膜版本体的结构强度，减小掩膜版本体因材料本身刚度、重力和受热膨胀的下垂量，或避免掩膜版本体下垂，以通过掩膜版本体支撑金属精细掩膜版，减小金属精细掩膜版的下垂量或避免金属精细掩膜版，从而降低显示屏混色比例和混色风险，提高显示屏的成品率。掩膜版制作方法，在掩膜版本体的工作面涂覆张应力涂层或在掩膜版本体结构面涂覆压应力涂层，均可获得前述的掩膜版本体。掩膜版制作夹具，包括掩膜版边框装载框和支撑板，支撑板位于装载框上端且各侧与装载框对应的侧壁连接，可通过支撑板可对掩膜版提供支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 制作方法 制作 夹具 | ||
【主权项】：
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