[发明专利]一种掩膜版、制作方法及制作夹具

说明书

本发明公开了一种掩膜版、制作方法及制作夹具，涉及显示设备技术领域；技术方案：掩膜版本体工作面上拱，能够提高掩膜版本体的结构强度，减小掩膜版本体因材料本身刚度、重力和受热膨胀的下垂量，或避免掩膜版本体下垂，以通过掩膜版本体支撑金属精细掩膜版，减小金属精细掩膜版的下垂量或避免金属精细掩膜版，从而降低显示屏混色比例和混色风险，提高显示屏的成品率。掩膜版制作方法，在掩膜版本体的工作面涂覆张应力涂层或在掩膜版本体结构面涂覆压应力涂层，均可获得前述的掩膜版本体。掩膜版制作夹具，包括掩膜版边框装载框和支撑板，支撑板位于装载框上端且各侧与装载框对应的侧壁连接，可通过支撑板可对掩膜版提供支撑。

技术领域

本发明涉及显示设备技术领域，具体涉及一种掩膜版、制作方法及制作夹具。

背景技术

金属精细掩膜版在使用过程中，由于重力和受热膨胀的原因，存在一定的下垂量(根据掩膜版的尺寸不同下垂量不同，如500μm)，因此，采用支撑掩膜版做支撑，改善掩膜版下垂量，进而将精细金属掩膜版的下垂量控制在200μm以下，而掩膜版的下垂量越大，造成的混色的比例和风险越高，尤其对高分辨率的产品影响尤为严重；此外，在真空腔室蒸镀时，掩膜版与玻璃产生静电，可能击穿蒸镀的有机材料和背板电路。

发明内容

针对现有的金属精细掩膜版和公共层掩膜版在工作时，存在较大的下垂量，导致显示屏次品率高的技术问题及蒸镀静电问题；本发明提供了一种掩膜版、制作方法及制作夹具，能够减小金属精细掩膜版工作时的下垂量和防止静电击穿，以降低显示屏混色比例和混色风险和静电击穿风险，提高显示屏的成品率。

本发明通过以下技术方案实现：

第一方面，本发明提供了一种掩膜版，包括掩膜版本体，所述掩膜版本体的工作面上拱。

在一可选的实施例中，所述掩膜版本体的工作面覆有张应力涂层。

在一可选的实施例中，所述张应力涂层中部的厚度大于两端的厚度。

在一可选的实施例中，所述张应力涂层为氧化铝涂层和类金刚石涂层中的一种。

在一可选的实施例中，所述掩膜版本体的结构面覆有压应力涂层。

在一可选的实施例中，所述压应力涂层中部的厚度大于两端的厚度。

在一可选的实施例中，所述压应力涂层为氧化铝涂层和类金刚石涂层中的一种。

第二方面，本发明提供了一种掩膜版制作方法，包括以下步骤：

S1、获得掩膜版本体；

S2、在所述掩膜版本体(工作面涂覆张应力涂层或在所述掩膜版本体结构面涂覆压应力涂层。

具体的，步骤S2包括子步骤：

S21、清洗掩膜版本体；

S22、将清洗后的掩膜版本体移入涂层设备，并对喷涂腔抽真空、对掩膜版本体加热；

S23、清洁掩膜版本体待涂层面；

S24、对掩膜版本体清洁后的表面涂层；

S25、掩膜版本体降至室温后，给喷涂腔充入保护气。

第三方面，本发明提供了一种掩膜版制作夹具，用于制作前述的掩膜版，包括用于装载掩膜版边框的装载框，所述装载框上端设有支撑板，所述支撑板用于支撑掩膜版本体，所述支撑板各侧与所述装载框对应的侧壁连接，且所述支撑板到所述装载框间的投影距离可调。

本发明具有的有益效果：