[发明专利]氮化物单晶薄膜及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202111625327.4 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114277443B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 屈艺谱;徐俞;王钰宁;王建峰;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B25/18;H01L21/02 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种氮化物单晶薄膜及其制备方法和应用。所述基于铁电材料衬底远程外延生长氮化物单晶薄膜的方法包括：将铁电材料衬底的温度调节至铁电材料的居里温度点以上，并对所述铁电材料衬底施加电场进行极化处理，以将所述铁电材料衬底的极化强度调节至50～120μC/cm |
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| 搜索关键词： | 氮化物 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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