[发明专利]团簇离子束纳米加工设备及其加工方法在审
| 申请号： | 202111415713.0 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114141598A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 李应高 | 申请（专利权）人： | 广东如动纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/304 | 分类号： | H01J37/304;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 佛山市智汇聚晨专利代理有限公司 44409 | 代理人： | 许崇峰 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市南海区丹*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种团簇离子束纳米加工设备，包括进料装置、分级负压发生器、主轴电机、压力腔、物料预处理单元、纳米团簇离子束单元、纳米团簇粒径实时检测单元、出料装置以及电气控制系统；还提供了一种团簇离子束纳米加工方法，包括对所述物料进行预处理，研磨成游离磨料；实时检测所述游离磨料粒径，当所述游离磨料达到亚微米级时，进行偏转、加速和对撞加工，分解成纳米团簇；实时检测所述纳米团簇粒径，满足设定条件时进行卸料。本发明通过实时检测纳米团簇粒径，保证了纳米团簇粒径的一致性和稳定性；采用游离磨料预处理和纳米团簇的能量束碰撞相结合的加工方式，保证纳米材料的粒径和纯度要求，最大限度地减少组份偏差和物相污染。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 纳米 加工 设备 及其 方法 | ||
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- 本发明提供一种离子注入系统，该离子注入系统具有配置成向工件提供聚点离子束的离子注入设备，该聚点离子束具有与其相关的射束密度，其中该工件具有与其相关的晶体结构。扫描系统沿一轴或多轴相对于彼此地反复扫描聚点离子束与工件中的一个或多个。还提供控制器，该控制器配置成在工件上的预定位置暴露于聚点离子束时确立工件的预定局部温度。由此在该预定位置获得工件晶体结构的预定局部失序，其中控制器配置成控制聚点离子束的射束密度以及与扫描系统相关的占空比中的一个或多个，从而在工件上的预定位置确立该工件的局部温度。
- 一种校准装置-201420019383.2
- 何春雷;王俊 - 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
- 2014-01-13 - 2014-06-25 - H01J37/304
- 本实用新型提供一种校准装置，用于对离子注入机台的离子源和离子萃取部件进行校准，所述校准装置至少包括主校准支架和辅助校准件；所述主校准支架具有前壁、后壁、及侧壁；所述前壁、后壁及侧壁围成容置所述离子源的容置空间；所述前壁中设置有通孔；所述离子源具有第一狭缝；所述辅助校准件插设于所述通孔中；所述辅助校准件上具有第二狭缝，所述第二狭缝与所述第一狭缝对齐，完成所述离子源和离子萃取部件的校准。本实用新型的校准装置，能够保证离子源和离子萃取部件在同一水平线上，使离子顺利拉入离子萃取部件中，进而保证离子注入的注入质量。本实用新型的校准装置结构简单，适用于工业化生产。
- 离子注入方法以及离子注入装置-201310294160.7
- 二宫史郎;越智昭浩 - 斯伊恩股份有限公司
- 2013-07-12 - 2014-01-29 - H01J37/304
- 本发明提供一种离子注入方法以及离子注入装置，其能够进行有效的离子注入。本发明的离子注入方法为基于混合式扫描的离子注入方法。该离子注入方法具有：预先设定离子注入时离子束的扫描速度以及物体的扫描速度的工序；及根据所设定的离子束的扫描速度以及物体的扫描速度而注入离子的工序。预先设定工序根据按照被离子照射的物体的表面形状而变化的离子束的各扫描振幅来设定多个离子束的扫描速度，以确保离子束的扫描频率恒定，并且设定与离子束的扫描速度对应的物体的扫描速度，以确保注入到物体表面的每单位面积的离子注入量恒定。
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