[发明专利]一种半导体引线框架曝光缺陷检测方法在审

专利信息
申请号: 202111149163.2 申请日: 2021-09-29
公开(公告)号: CN113592866A 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 邓万宇;介佳豪;武敦海 申请(专利权)人: 西安邮电大学
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06T5/00;G06N3/04;G06N3/08
代理公司: 西安新动力知识产权代理事务所(普通合伙) 61245 代理人: 胡维
地址: 710061 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明属于计算机视觉技术领域,涉及一种半导体引线框架曝光缺陷检测方法,当该方法其应用于某种类型的半导体引线框架模具时:首先对采集到的源图像进行二值化处理;再利用图像修复模型对二值化处理后的二值化图像A进行修复得到二值化图像B,所述图像修复模型采用生成式对抗网络训练模型,所述生成式对抗网络由生成器G和判别器D组成;最后通过对二值化图像A和二值化图像B进行比对,确定缺陷的准确位置,可实现对细小缺陷的检测,具有检测准确率高、检测时延短等优点。
搜索关键词: 一种 半导体 引线 框架 曝光 缺陷 检测 方法
【主权项】:
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