[发明专利]基于Fanout技术的侵彻测量用加速度值记录装置在审

专利信息
申请号: 202111111193.4 申请日: 2021-09-23
公开(公告)号: CN113823626A 公开(公告)日: 2021-12-21
发明(设计)人: 郑宇;方岚;向圆;李苏苏;谢玉巧 申请(专利权)人: 华东光电集成器件研究所
主分类号: H01L25/16 分类号: H01L25/16;H01L23/31;H01L23/29;H01L21/50;H01L21/56;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;G01P1/12;G01P15/08
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 代理人: 杨晋弘
地址: 233030 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及基于Fanout技术制造侵彻测量用加速度值记录装置,将放大器裸芯片(4)、滤波器裸芯片、处理器裸芯片(6)、电源电路裸芯片、存储器裸芯片集成在塑封成型体(7)内,通过BGA球(5)引出并与基板(14)上的线路对应连接;MEMS加速度计(11)粘接在基板上,通过BGA球将MEMS加速度计与基板上线路连接;MEMS另一面使用绝缘胶(12)粘接至管壳(1)底部;MEMS与管壳底部之间采用硬胶(10)保护灌封,基板另一面用软胶(8)保护灌封。本发明的有益效果是:克服了目前单纯由实验或理论分析评价弹体侵彻过载的不足,具有评价结果精准快速的特点,有助于降低试验成本,缩短研究周期,不仅可应用于侵彻过载的评价,还可应用于侵彻实验弹体的设计。
搜索关键词: 基于 fanout 技术 测量 加速度 记录 装置
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