[发明专利]探测器及其制作方法以及装置

摘要

本申请公开了一种探测器及其制作方法以及装置，所述探测器包括：在第一方向上相对设置的第一探测器单元和第二探测器单元；所述第一探测器单元包括：在所述第一方向上延伸的第一柱状电极；包围所述第一柱状电极的第一介质区；包围所述第一介质区的第一多边形电极；所述第二探测器单元包括：在所述第一方向上延伸的第二柱状电极；包围所述第二柱状电极的第二介质区；包围所述第二介质区的第二多边形电极；所述第一柱状电极与所述第二柱状电极为同一柱体在所述第一方向上相对的两部分。应用本发明提供的技术方案，通过双面刻蚀工艺，贯穿整个硅体，可以减少死区的比例，并且该探测器在工作时，粒子可双面入射，探测效率高，反应灵敏。