[发明专利]一种湿敏电容及其制作方法、湿度测量设备在审
| 申请号： | 202110619323.9 | 申请日： | 2021-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN113380549A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 吕阳;侯晓伟;郑良广;任浩;李菊萍;张坡;武鹏 | 申请（专利权）人： | 宁波中车时代传感技术有限公司 |
| 主分类号： | H01G7/00 | 分类号： | H01G7/00;G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王晓坤 |
| 地址： | 315021 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种湿敏电容制作方法，包括获得衬底；采用电镀工艺在所述衬底的上表面制作焊盘和相互交叉的梳指电极；在所述梳指电极的上表面和侧面制作湿度敏感层，得到湿敏电容；其中，所述湿度敏感层的厚度大于所述梳指电极的厚度。本申请中制作梳指电极时，采用电镀的方式来制作，电镀工艺是一种厚膜金属工艺，可以使得梳指电极的厚度高于1微米，梳指电极的厚度增加，使得相互交叉的梳指电极之间的正对面积增加，进而使得湿敏电容的基础电容和电容变化量变大，电容灵敏度提升，降低湿敏电容检测电路的设计难度，并且，电镀的方式还可以降低制作成本。本申请还提供一种具有上述优点的湿敏电容和湿度测量设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 及其 制作方法 湿度 测量 设备 | ||
【主权项】：
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