[发明专利]一种湿敏电容及其制作方法、湿度测量设备

说明书

本申请公开了一种湿敏电容制作方法，包括获得衬底；采用电镀工艺在所述衬底的上表面制作焊盘和相互交叉的梳指电极；在所述梳指电极的上表面和侧面制作湿度敏感层，得到湿敏电容；其中，所述湿度敏感层的厚度大于所述梳指电极的厚度。本申请中制作梳指电极时，采用电镀的方式来制作，电镀工艺是一种厚膜金属工艺，可以使得梳指电极的厚度高于1微米，梳指电极的厚度增加，使得相互交叉的梳指电极之间的正对面积增加，进而使得湿敏电容的基础电容和电容变化量变大，电容灵敏度提升，降低湿敏电容检测电路的设计难度，并且，电镀的方式还可以降低制作成本。本申请还提供一种具有上述优点的湿敏电容和湿度测量设备。

技术领域

本申请涉及传感器技术领域，特别是涉及一种湿敏电容及其制作方法、湿度测量设备。

背景技术

湿敏电容是一种重要的湿度传感器器件，广泛应用在航空、医疗、微电子等领域。

梳指式湿敏电容是一种平面型湿敏电容，其电极是梳指电极，目前，梳指电极是采用溅射或者蒸发等薄膜金属化工艺制作而成，制作成本高，并且，受到制作工艺限制，梳指电极的厚度均小于1微米，导致湿敏电容电极正对面积极小，进而使得湿敏电容的基础电容和电容变化量都很小，电容灵敏度低，提升了湿敏电容检测电路的设计难度。

因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。

发明内容

本申请的目的是提供一种湿敏电容及其制作方法、湿度测量设备，以提升湿敏电容灵敏度，降低制作成本。

为解决上述技术问题，本申请一种湿敏电容制作方法，包括：

获得衬底；

采用电镀工艺在所述衬底的上表面制作焊盘和相互交叉的梳指电极；

在所述梳指电极的上表面和侧面制作湿度敏感层，得到湿敏电容；

其中，所述湿度敏感层的厚度大于所述梳指电极的厚度。

可选的，在所述梳指电极的上表面和侧面制作湿度敏感层包括：

在所述梳指电极的上表面和侧面涂覆湿敏材料，形成待处理湿度敏感层；

对所述待处理湿度敏感层进行图形化处理，形成所述湿度敏感层。

可选的，在所述梳指电极的上表面和侧面制作湿度敏感层之后，还包括：

在所述湿度敏感层上表面制作保护层。

本谁请还提供一种如上述所述的湿敏电容制作方法制得的湿敏电容，包括：

衬底；

位于所述衬底的上表面的焊盘和交叉的梳指电极；

位于所述梳指电极的上表面和侧面的湿度敏感层，所述湿度敏感层的厚度大于所述梳指电极的厚度。

可选的，所述的湿敏电容中，所述衬底为下述任一种：

玻璃衬底、陶瓷衬底、硅片衬底、塑料薄膜衬底、PCB板、碳化硅衬底、砷化镓衬底。

可选的，所述的湿敏电容中，所述梳指电极的材料为下述任一种或者任意组合的合金：

金、银、铜、镍。

可选的，所述的湿敏电容中，所述湿度敏感层的材料为有机聚合物材料。

可选的，所述的湿敏电容中，还包括：

位于所述湿度敏感层上表面的保护层。

可选的，所述的湿敏电容中，所述保护层为聚乙烯保护层。

本申请还提供一种湿度测量设备，所述湿度测量设备包括上述任一项所述的湿敏电容。