[发明专利]生成可用于检查半导体样本的训练数据在审
| 申请号： | 202110491730.6 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN114092387A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | M·史戴曼;S·埃尔卡亚姆 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06V10/764;G06V10/82;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种生成用于训练可用于半导体样本检查的深度神经网络的训练数据的系统和方法。所述方法包括：获得分别与每个区段中选择的一组像素相关联的第一训练图像和第一标签，提取表征第一训练图像的特征集合，使用第一标签、所述一组像素的值、和与该组像素相对应的特征集合的每一个特征的特征值来训练机器学习(ML)模型，使用训练的ML模型来处理第一训练图像以获得第一分割图，以及确定在满足标准时将第一训练图像和第一分割图包括到DNN训练数据中，并且在不满足标准时重复提取第二特征、训练和处理。 | ||
| 搜索关键词： | 生成 用于 检查 半导体 样本 训练 数据 | ||
【主权项】：
暂无信息
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