[发明专利]一种用于半导体二极管芯片的检测设备

摘要

本发明涉及半导体二极管芯片检测技术领域，尤其涉及一种用于半导体二极管芯片的检测设备，包括机架、上料机械手、上料料盒、上料吸嘴吸盘、缺陷检测相机组件、上料工位、氟油刷组件、探针检测工位、探针检测机械手、探针盘、探针切换控制系统、打点标识装置，机架顶部与上料机械手通过型架固定连接，上料料盒设置在机架的内部，上料吸嘴吸盘设置在上料机械手的自由端上，缺陷检测相机组件设置在上料机械手上。本发明达到了减少了测试过程中繁多的机械移动，大幅度提升二极管芯片测试产率的目的，还能够同步对半导体二极管芯片进行芯片外观缺陷检测，替代了人工外观检测，提升了芯片的良率与质量。