[发明专利]柔性气动压力测量装置及其制作方法在审
| 申请号： | 202110020613.1 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN112885789A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王波;姚建;刘斌;张涛;陈闯 | 申请（专利权）人： | 浙江荷清柔性电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/29 | 分类号： | H01L23/29;H01L23/49;H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60;G01L11/00 |
| 代理公司： | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人： | 袁媛 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了柔性气动压力测量装置，包括制作有电路的柔性电路板以及贴附在所述柔性电路板上的无源器件、MEMS气压传感器和芯片，所述芯片包括至少一个柔性芯片，所述柔性芯片的厚度不大于50μm；至少所述柔性芯片被硅胶保护层包覆。本发明还公开了柔性气动压力测量装置制作方法。本发明能够与飞行器表面共形，降低测量系统对气体流场的干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 气动 压力 测量 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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