[实用新型]一种硅片机械手抓取烘干结构有效
申请号: | 202020199446.2 | 申请日: | 2020-02-24 |
公开(公告)号: | CN211670201U | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 闵利峰 | 申请(专利权)人: | 闵利峰 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 152000 黑龙江省绥化市北林区丰泽*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅片机械手抓取烘干结构,涉及到太阳能材料生产技术领域,包括固定架,固定架的上表面两侧均固定连接有连接杆,固定架的两侧均开设有活动滑道,两个活动滑道之间设置有固定梁,固定梁的中部固定连接有双轴气缸,双轴气缸的两端均固定连接有气缸轴。本实用新型通过设置双轴气缸,并且通过双轴气缸和气缸轴以及活动滑板的配合使用,能够带动两个活动夹板同时移动,从而通过活动夹板带动转盘移动,然后再通过转盘上的固定沟槽将待加工硅片进行固定,通过驱动电机和传动轴的配合使用,能够带动转盘旋转,从而通过转盘带动硅片旋转,这样就可以通过离心作用力将硅片表面的水分处理掉,有效提高硅片的加工质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 机械手 抓取 烘干 结构 | ||
【主权项】:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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