[实用新型]一种硅片机械手抓取烘干结构有效

专利信息
申请号: 202020199446.2 申请日: 2020-02-24
公开(公告)号: CN211670201U 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 闵利峰 申请(专利权)人: 闵利峰
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 152000 黑龙江省绥化市北林区丰泽*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 实用新型公开了一种硅片机械手抓取烘干结构,涉及到太阳能材料生产技术领域,包括固定架,固定架的上表面两侧均固定连接有连接杆,固定架的两侧均开设有活动滑道,两个活动滑道之间设置有固定梁,固定梁的中部固定连接有双轴气缸,双轴气缸的两端均固定连接有气缸轴。本实用新型通过设置双轴气缸,并且通过双轴气缸和气缸轴以及活动滑板的配合使用,能够带动两个活动夹板同时移动,从而通过活动夹板带动转盘移动,然后再通过转盘上的固定沟槽将待加工硅片进行固定,通过驱动电机和传动轴的配合使用,能够带动转盘旋转,从而通过转盘带动硅片旋转,这样就可以通过离心作用力将硅片表面的水分处理掉,有效提高硅片的加工质量。
搜索关键词: 一种 硅片 机械手 抓取 烘干 结构
【主权项】:
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