[实用新型]一种硅片机械手抓取烘干结构有效

申请号：	202020199446.2	申请日：	2020-02-24
公开（公告）号：	CN211670201U	公开（公告）日：	2020-10-13
发明（设计）人：	闵利峰	申请（专利权）人：	闵利峰
主分类号：	H01L31/18	分类号：	H01L31/18;H01L21/677;H01L21/67
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	152000 黑龙江省绥化市北林区丰泽***	国省代码：	黑龙江;23
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摘要：
搜索关键词：	一种硅片机械手抓取烘干结构
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【权利要求书】：

1.一种硅片机械手抓取烘干结构，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架(1)的上表面两侧均固定连接有连接杆(2)，所述固定架(1)的两侧均开设有活动滑道(3)，两个所述活动滑道(3)之间设置有固定梁(4)，所述固定梁(4)的中部固定连接有双轴气缸(5)，所述双轴气缸(5)的两端均固定连接有气缸轴(6)，所述气缸轴(6)的一端固定连接有活动滑板(7)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片机械手抓取烘干结构，其特征在于：

所述活动滑板(7)的底端固定连接有活动夹板(8)；

所述活动夹板(8)的一侧中部固定连接有驱动电机(9)；

所述活动滑板(7)的侧壁紧贴活动滑道(3)的内壁并与活动滑道(3)活动连接。

3.根据权利要求2所述的一种硅片机械手抓取烘干结构，其特征在于：

所述驱动电机(9)的下表面固定连接有固定座(10)；

所述固定座(10)的一侧与活动夹板(8)固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种硅片机械手抓取烘干结构，其特征在于：

所述驱动电机(9)的一侧活动连接有传动轴(11)；

所述传动轴(11)的一端固定连接有转盘(12)。

5.根据权利要求4所述的一种硅片机械手抓取烘干结构，其特征在于：

所述转盘(12)的一侧开设有固定沟槽(13)；