[发明专利]亚分辨率辅助图形添加方法及装置、计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 202010981385.X | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112099319B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 高澎铮;韦亚一;张利斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F30/392 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘广达 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了亚分辨率辅助图形添加方法及装置、计算机可读存储介质。该方法包括：向初始的版图上添加亚分辨率辅助图形，在已添加的多个亚分辨率辅助图形符合设定的条件下分别计算多个亚分辨率辅助图形的评价值以及基于多个亚分辨率辅助图形的评价值清理相应的亚分辨率辅助图形，否则继续添加亚分辨率辅助图形；最后输出版图。该装置可包括辅助图形添加模块、评价值计算模块、辅助图形清理模块及最终版图输出模块。本发明创新地在亚分辨率辅助图形的添加过程中进行冲突清理，可有效避免所有亚分辨率辅助图形添加完成后再进行冲突清理的工作量和复杂度，而且本发明还能够获得更大的光刻工艺窗口，进而明显地提高目标图形的光刻成像对比度。 | ||
| 搜索关键词： | 分辨率 辅助 图形 添加 方法 装置 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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