[发明专利]亚分辨率辅助图形添加方法及装置、计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，包括：

向初始的版图上添加亚分辨率辅助图形；

在已添加的多个亚分辨率辅助图形符合设定的条件下分别计算所述多个亚分辨率辅助图形的评价值，以及基于所述多个亚分辨率辅助图形的评价值清理相应的亚分辨率辅助图形；否则继续添加亚分辨率辅助图形；

在所有位置的亚分辨率辅助图形添加完成后输出版图。

2.根据权利要求1所述的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，

所述设定的条件包括：相邻的至少两个亚分辨率辅助图形存在交叠或亚分辨率辅助图形违反掩模制造规则。

3.根据权利要求1或2所述的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，还包括在初始的版图的目标图形边缘设置至少一个检测点的步骤，所述目标图形为待转移到晶圆上的图形；

所述分别计算所述多个亚分辨率辅助图形的评价值的步骤包括：计算所述多个亚分辨率辅助图形分别在周围检测点处的光强对数斜率值，然后利用所述光强对数斜率值计算亚分辨率辅助图形的评价值。

4.根据权利要求3所述的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，利用所述光强对数斜率值计算亚分辨率辅助图形的评价值的步骤包括：

统计待计算评价值的亚分辨率辅助图形在周围所有检测点处的光强对数斜率值；

对所述周围所有检测点处的光强对数斜率值进行加权求和计算，从而得到该亚分辨率辅助图形的评价值。

5.根据权利要求1或4所述的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，所述清理相应的亚分辨率辅助图形的步骤包括：

选择所述多个亚分辨率辅助图形中具有最小评价值的亚分辨率辅助图形；

对所述具有最小评价值的亚分辨率辅助图形进行移动操作或者缩小面积操作或者清除操作。

6.根据权利要求3所述的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，所述在初始的版图的目标图形边缘设置至少一个检测点的步骤包括：

获取目标图形的拐点位置坐标；

选择检测点的位置，以使检测点位置坐标与拐点位置坐标之间的距离大于第一预设距离。

7.根据权利要求3所述的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，所述在初始的版图的目标图形边缘设置至少一个检测点的步骤包括：

获取目标图形的端点位置坐标；

选择检测点的位置，以使检测点位置坐标与端点位置坐标之间的距离大于第二预设距离。

8.根据权利要求1所述的亚分辨率辅助图形添加方法，其特征在于，添加亚分辨率辅助图形的步骤包括：

读取规则列表；

按照规则列表中内容对亚分辨率辅助图形进行添加；

其中，所述规则列表中内容包括待添加的亚分辨率辅助图形几何信息、位置信息及适用条件信息。

9.一种亚分辨率辅助图形添加装置，其特征在于，包括：

辅助图形添加模块，用于向初始的版图上添加亚分辨率辅助图形以及用于在已添加的多个亚分辨率辅助图形不符合设定的条件下继续添加亚分辨率辅助图形；

评价值计算模块，用于在已添加的多个亚分辨率辅助图形符合设定的条件下分别计算所述多个亚分辨率辅助图形的评价值；

辅助图形清理模块，用于基于所述多个亚分辨率辅助图形的评价值清理相应的亚分辨率辅助图形；

最终版图输出模块，用于在所有位置的亚分辨率辅助图形添加完成后输出版图。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，其上存储有计算机可读指令，所述计算机可读指令被处理器执行时，使得处理器执行如权利要求1-8中任一项权利要求所述的亚分辨率辅助图形添加方法的步骤。