[发明专利]反熔丝器件及反熔丝单元在审
| 申请号： | 202010268401.0 | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113496987A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 刘志拯 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L27/108;H01L27/112 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种反熔丝器件，反熔丝器件包括：衬底；反熔丝栅极，反熔丝栅极部分嵌入衬底内，反熔丝栅极嵌入衬底内的部分具有尖角；反熔丝栅氧化层，反熔丝栅氧化层位于反熔丝栅极与衬底之间。令反熔丝栅极和反熔丝栅氧化层在衬底内部均具有尖角，使得反熔丝器件有了多个尖端放电点，更加容易被击穿，有了多个击穿点使得同一批次生产的反熔丝器件的均匀性更好，提高了一批次产品性能的一致性，弯折的反熔丝栅氧化层有效面积更大，因此使得反熔丝器件能够以更小的尺寸获得更大的反熔丝栅氧化层面积，有利于反熔丝器件的小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 反熔丝 器件 单元 | ||
【主权项】：
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