[发明专利]碳化硅长晶设备及其长晶方法在审
| 申请号： | 202010237530.3 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113249795A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 陈畇甫;彭钧圣;朱闵圣;徐为哲 | 申请（专利权）人： | 稳晟材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B31/16;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 朱颖;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾新北市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种碳化硅长晶设备及其长晶方法，所述碳化硅长晶设备包括物理气相传输单元以及原子层沉积单元。物理气相传输单元具有长晶炉，经配置以在长晶炉的内部空间中成长碳化硅晶体。原子层沉积单元耦接于长晶炉，经配置以对碳化硅晶体进行原子掺杂动作。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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- 本发明所述的单晶硅块复投器自动配料车，车架与复投器架之间设置有弹性机构，弹性机构的设置使得复投器架在由倾斜状态向竖直状态转换时，弹性机构起到助力作用，该方案降低了操作人员的劳动强度。在车架上还设置有操作机构，操作机构包括丝杠和螺母座，复投器架与螺母座之间设置有推杆，推杆的一端转动连接在螺母座上，推杆的另一端转动连接在复投器架上，在车架上设置有驱动丝杠转动的驱动机构，在翻转复投器架时，通过驱动机构带动丝杠转动，进而使得螺母座沿直线运动，螺母座直线运动通过推杆驱动复投器架做翻转动作，由于丝杠与螺母座配合，螺母座与丝杠之间具有自锁功能，复投器架在翻转过程中可以方便地控制复投器架的翻转速度。
- 一种用于制备YAG晶体的自动充气系统-202320986445.6
- 刘景峰 - 北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司
- 2023-04-27 - 2023-09-19 - C30B35/00
- 本实用新型涉及YAG晶体生产设备的领域，公开了一种用于制备YAG晶体的自动充气系统，用于向炉体内充气，炉体连通氩气管路和二氧化碳管路，还包括控制电路和设置于氩气管路上的氩气电磁阀以及设置于二氧化碳管路上的二氧化碳电磁阀，控制电路分别与氩气电磁阀和二氧化碳电磁阀电连接并控制氩气电磁阀和二氧化碳电磁阀的开闭，解决了传统的人工充气方式难以达到生产工艺的精度要求且工序复杂、操作难度大的问题。本实用新型利用电气控制原理并将相关设备与原有充气环节涉及到的设备相结合，将传统的依靠人工经验的充气操作转化为自动化操作，简化了操作步骤，降低了操作难度，充气精度更高，满足YAG晶体生长的工业化及生产自动化需求。
- 一种单晶坩埚脱模机快速脱模机构-202321206704.5
- 尹长浩;张兆玉 - 连云港专需智能科技有限公司
- 2023-05-18 - 2023-09-19 - C30B35/00
- 本实用新型涉及一种单晶坩埚脱模机快速脱模机构，包括主体和转动架，所述主体的内部设置有切割调整机构，所述转动架的内部设置有切割驱动组件，所述切割调整机构包括主体内部转动连接的转动架，所述转动架的正面固定连接有轮盘，所述轮盘的内部转动连接有切割轮，所述主体的顶部固定连接有第一电推杆，所述第一电推杆的输出端固定连接有与转动架滑动连接的调节块。该单晶坩埚脱模机快速脱模机构，可在第二电推杆的驱动下稳固夹持石英坩埚，并可利用第一电推杆的驱动作用调整转动架的倾角，实现对切割轮位置的调整，从而配合转动电机对石英坩埚的转动调整，加工出一条环形的切缝，实现石英坩埚和碳碳坩埚的快速脱模处理。
- 一种单晶炉闪频观察窗-202320558283.6
- 陈龙;蔡秀明;赖东为;李静 - 福建鑫睿晶学科技有限公司
- 2023-03-21 - 2023-09-15 - C30B35/00
- 本实用新型公开了一种单晶炉闪频观察窗，属于单晶炉领域，一种单晶炉闪频观察窗，包括单晶炉主体，单晶炉主体的内部固定有壳体，壳体的内部设置有观察镜组件，观察镜组件的顶部设置有除尘机构，用于清洁观察镜组件顶部附着的灰尘、杂质，除尘机构包括顶部盖，顶部盖设置于壳体的外侧，顶部盖内壁的中部位置处固定有第一圆形箱，第一圆形箱的内部滑动连接有第一圆形滑板，它可以实现，通过除尘机构的设置，使得清洁板能够对观察镜组件的顶部进行清洁，使得观察镜组件顶部的灰尘、杂质等物质能够有效的去除，提高观察窗的透明度，从而提高操作人员对闪频情况的观察效果、高数据的准确性和可靠性。
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