[发明专利]检测对象缺陷图案的优先级排序装置、排序方法及存储介质有效
| 申请号： | 202010202830.8 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111429427B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 小林尚弘;卢意飞;赵宇航;李铭;黄寅 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司;上海先综检测有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06F30/392 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;尹一凡 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测对象缺陷图案的优先级排序装置、排序方法及存储介质。该优先级排序装置包括缺陷检测结果读取模块、缺陷检测结果解析模块、布图数据读取模块、布图数据解析模块、布图数据单元解析模块、数据处理解析模块、缺陷位置重要度判定模块、连接在数据处理解析模块和显示器之间的画面显示控制模块和连接在数据处理解析模块与键盘之间的键盘控制模块。本发明根据检测装置输出的检测对象缺陷图案和半导体装置的原始设计布图数据的层级构造信息进行对比，获得检测对象缺陷图案的优先级排序。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 对象 缺陷 图案 优先级 排序 装置 方法 存储 介质 | ||
【主权项】：
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