[发明专利]基于酚醛清漆/DNQ的化学增幅型光致抗蚀剂在审
| 申请号： | 201980034950.7 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN112166378A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | M·A·托克西;刘卫宏;T·工藤;H-Y·陈;J·殷 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/022 | 分类号： | G03F7/022;G03F7/023 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 陈晰 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及抗蚀剂组合物，其包含聚合物组分、光致产酸剂组分(PAG)、光活性邻叠氮萘醌组分(PAC)、碱组分、溶剂组分和任选的杂环硫醇组分。所述聚合物组分是酚醛清漆衍生物，其包含具有游离酚羟基部分的酚醛清漆重复单元，和包含用酸可裂解的缩醛部分保护的酚羟基部分的酚醛清漆重复单元。所述缩醛部分选自单官能烷基缩醛部分，其保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元；缩醛，其包含用PAC部分官能化的部分，用来保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元；包含二官能缩醛的部分，其连接和保护两个含有酚醛清漆酚羟基部分的重复单元，在所述聚合物组分中在两个不同的聚合物链之间形成连接点；以及任何这三种类型的酸可裂解的缩醛部分的混合物。PAC组分选自所述缩醛，其包含用PAC部分官能化的部分，用来保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元；游离PAC组分和这两种类型的PAC组分的混合物。本发明还涉及在厚膜或薄膜光致抗蚀剂器件制造方法中使用本发明组合物的方法。 | ||
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【主权项】：
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