[发明专利]辐射敏感组合物、非晶膜和抗蚀图案形成方法在审
| 申请号： | 201680020207.2 | 申请日： | 2016-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN107407874A | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 越后雅敏;樋田匠;佐藤隆 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/022 | 分类号： | G03F7/022;C08F214/18;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种辐射敏感组合物，其含有抗蚀基材(A)、重氮萘醌光活性化合物(B)以及溶剂(C)，该组合物中的前述溶剂(C)的含量为20～99质量％，前述溶剂(C)之外的成分的含量为1～80质量％，前述抗蚀基材(A)为下述式(1)所示的化合物。(式(1)中，R1为碳数1～30的2n价基团，R2～R5各自独立地表示碳数1～10的烷基、碳数6～10的芳基、碳数2～10的烯基、碳数1～30的烷氧基、卤素原子、巯基、或羟基，其中，至少一个R4和/或至少一个R5为选自羟基和巯基中的1种以上，m2和m3各自独立地为0～8的整数，m4和m5各自独立地为0～9的整数，其中，m4和m5不同时为0，n为1～4的整数，p2～p5各自独立地为0～2的整数。) | ||
| 搜索关键词： | 辐射 敏感 组合 非晶膜 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种辐射敏感组合物，其含有抗蚀基材(A)、重氮萘醌光活性化合物(B)以及溶剂(C)，该组合物中的所述溶剂(C)的含量为20～99质量％，所述溶剂(C)以外的成分的含量为1～80质量％，所述抗蚀基材(A)为下述式(1)所示的化合物，式(1)中、R1为碳数1～30的2n价基团，R2～R5各自独立地表示碳数1～10的烷基、碳数6～10的芳基、碳数2～10的烯基、碳数1～30的烷氧基、卤素原子、巯基、或羟基，其中，至少一个R4和/或至少一个R5为选自羟基和巯基中的1种以上，m2和m3各自独立地为0～8的整数，m4和m5各自独立地为0～9的整数，其中，m4和m5不同时为0，n为1～4的整数，p2～p5各自独立地为0～2的整数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱瓦斯化学株式会社，未经三菱瓦斯化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680020207.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：含有光碱产生剂的可光成像聚烯烃组合物
- 下一篇：感光性树脂组合物及电子部件
- 同类专利
- 含有热碱产生剂的可光成像组合物-201580077251.2
- H·恩济;S·凯迪 - 住友电木株式会社
- 2015-12-29 - 2018-12-04 - G03F7/022
- 根据本发明的实施方式包含正色调、可水显影、可自成像的聚合物组合物，其用于形成能够图案化以产生用于微电子器件、微电子封装、微机电系统、光电子器件及显示器的结构的膜。
- 辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法-201680019062.4
- 越后雅敏;樋田匠;佐藤隆 - 三菱瓦斯化学株式会社
- 2016-03-28 - 2017-12-01 - G03F7/022
- 一种辐射敏感组合物，其含有(A)抗蚀剂基材、(B)重氮萘醌光活性化合物以及(C)溶剂，前述辐射敏感组合物中的固体成分的含量为1～80质量％，溶剂的含量为20～99质量％，前述(A)抗蚀剂基材为式(1)所示的化合物。
- 辐射敏感组合物-201680020529.7
- 越后雅敏;樋田匠;佐藤隆 - 三菱瓦斯化学株式会社
- 2016-03-02 - 2017-12-01 - G03F7/022
- 本发明是一种辐射敏感组合物，其含有(A)抗蚀基材、(B)重氮萘醌光活性化合物以及(C)溶剂，该组合物中，固体成分的含量为1～80质量％的范围，溶剂的含量为20～99质量％的范围，该(A)抗蚀基材为特定式所示的化合物。
- 辐射敏感组合物、非晶膜和抗蚀图案形成方法-201680020207.2
- 越后雅敏;樋田匠;佐藤隆 - 三菱瓦斯化学株式会社
- 2016-03-17 - 2017-11-28 - G03F7/022
- 一种辐射敏感组合物，其含有抗蚀基材(A)、重氮萘醌光活性化合物(B)以及溶剂(C)，该组合物中的前述溶剂(C)的含量为20～99质量％，前述溶剂(C)之外的成分的含量为1～80质量％，前述抗蚀基材(A)为下述式(1)所示的化合物。(式(1)中，R1为碳数1～30的2n价基团，R2～R5各自独立地表示碳数1～10的烷基、碳数6～10的芳基、碳数2～10的烯基、碳数1～30的烷氧基、卤素原子、巯基、或羟基，其中，至少一个R4和/或至少一个R5为选自羟基和巯基中的1种以上，m2和m3各自独立地为0～8的整数，m4和m5各自独立地为0～9的整数，其中，m4和m5不同时为0，n为1～4的整数，p2～p5各自独立地为0～2的整数。)
- 有机发光二极管用聚酰亚胺感光性树脂组合物-201280051559.6
- 金东明;金柄郁;尹赫敏;金镇祐;黄致容 - 东进世美肯株式会社
- 2012-10-15 - 2017-11-07 - G03F7/022
- 本发明涉及OLED用聚酰亚胺感光性树脂组合物，特别是涉及一种具有以下特征的OLED用聚酰亚胺感光性树脂组合物，其特征在于，包括a)包括i)聚酰亚胺前驱体、ii)聚羟基苯乙烯(poly hydroxy styrene)的树脂；b)1,2‑醌二叠氮化合物；c)交联剂；及d)溶剂。本发明的聚酰亚胺感光性树脂组合物使用分子量及溶解度容易调节的聚酰亚胺前驱体，适合于OLED的有机绝缘膜形成，特别是能够使灵敏度显著改善。
- 正性光敏树脂组合物-201280065652.2
- 权志伦;李种和;赵显龙;金大润;金上权;金相均;金尚洙;尹银卿;李俊昊;李珍泳;田桓承;洪忠范;黃银夏 - 第一毛织株式会社
- 2012-07-17 - 2014-09-10 - G03F7/022
- 本发明公开了正性光敏树脂组合物，该正性光敏树脂组合物包含：(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、以及它们的组合的碱溶性树脂；(B)光敏重氮醌化合物；(C)苯酚化合物；(D)有机染料以及(E)溶剂，其中，有机染料(D)包含至少一种具有590nm至700nm的吸收波长的红染料、至少一种具有550nm至590nm的吸收波长的黄染料、以及至少一种具有450nm至500nm的吸收波长的蓝染料。
- 正型干膜光致抗蚀剂-200580042323.6
- 金炳基;朴世炯;朴钟旼;白圣寅 - 可隆株式会社
- 2005-12-07 - 2012-11-28 - G03F7/022
- 正型光致抗蚀剂树脂膜包含载体膜和层压在所述载体膜上面的热固性正型光致抗蚀剂树脂层。所述正型光致抗蚀剂树脂层包含碱溶性树脂、重氮化物基光敏化合物和灵敏度增强剂。所述载体膜具有抑制缺陷结构如鱼眼的形成的表面粗糙度。本发明克服了加工的低效率和由旋涂光致抗蚀剂的技术导致的缺陷。
- 正型感光性树脂组合物，固化膜，保护膜，绝缘膜以及使用它们的半导体装置，显示器装置-200980125721.2
- 杉山広道;真壁裕明 - 住友电木株式会社
- 2009-06-19 - 2011-06-01 - G03F7/022
- 本发明的目的在于，提供一种不发生浮渣、高感光度且高分辨率的正型感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜及使用它们的半导体装置。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于，含有：特定的聚酰胺系树脂(A)；由特定的苯酚化合物与1，2-萘醌二叠氮-4-磺酸及1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸的酯的至少一者的酯所构成的感光剂(B)。又，本发明的固化膜的特征在于，由上述的正型感光性树脂组合物的固化物所构成。又，本发明的保护膜和绝缘膜的特征在于，由上述固化膜所构成。又，本发明的半导体装置及显示器装置的特征在于，具有上述的固化膜。
- 聚合物笔平版印刷术-200980118648.6
- 查德·A·米尔金;霍峰蔚;郑子健;郑耿峰 - 西北大学
- 2009-04-25 - 2011-04-27 - G03F7/022
- 本公开涉及使用包括弹性体的、可压缩聚合物的尖端阵列在基板上印刷标记的方法。尖端阵列可使用常规照相平板印刷法制备，且可修整以具有任何所需数量和/或排列的尖端。在仅40分钟内，可以平行方式制备图案的许多个拷贝(如大于15,000，或大于11,000,000)。
- 正型感光性树脂组合物、树脂膜的制造方法、半导体装置和显示元件及其制造方法-201010161446.4
- 番场敏夫;池田拓司;矢野达也;平野孝 - 住友电木株式会社
- 2004-06-21 - 2010-09-15 - G03F7/022
- 本发明提供一种包含碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、不含酚性羟基含-CH2OH基的化合物(C)所构成的正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置；及该半导体装置的制造方法。本发明还提供一种正型感光性树脂组合物；采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法；采用该组合物的半导体装置及半导体元件；及该半导体装置及显示元件的制造方法，其中，正型感光性树脂组合物含有碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、2种或2种以上的混合溶剂(D)，而混合溶剂(D)含有γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚，γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚的合计量相对溶剂总量为70重量％或70重量％以上。
- 正型感光性树脂组合物-201010113693.7
- 田口宽之;二户吉德;加藤行浩;高桥修一;冈村聪也 - 日油株式会社
- 2010-02-08 - 2010-08-11 - G03F7/022
- 本发明涉及正型感光性树脂组合物。感光性树脂组合物，其含有下述成分(A)、(B)和(C)，成分(B)和(C)相对于成分(A)100质量份的构成比例分别设定为(B)5～50质量份和(C)1～40质量份。成分(A)是含有由富马酸二酯单体衍生的构成单元(a1)、由芳族乙烯基单体衍生的构成单元(a2)、由α，β-不饱和羧酸单体衍生的构成单元(a3)和由(甲基)丙烯酸酯单体衍生的构成单元(a4)的共聚物。成分(B)是具有重氮醌基的感光剂。成分(C)是具有2个以上环氧基的固化剂。
- 专利分类
