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[发明专利]压电振动器件制造装置及压电振动器件的制造方法-CN202280019601.X在审
发明人：大室裕史;佐藤隆;大谷浩 -专利权人：株式会社大真空
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提供能够将多个压电元件在规定的位置以规定的朝向分别配置到多个保持部件的压电振动器件制造装置及压电振动器件的制造方法。具有使多个吸附头(20)同时往返移动的吸附头移动装置(12)。多个吸附头(20)通过吸附嘴(28)分别吸附压电元件(P)。吸附头用水平移动机构(21)、吸附头用竖直移动机构(24)、吸附头用旋转移动机构(26)中的至少一个基于与多个吸附嘴(28)分别吸附的多个压电元件(P)的位置相关的信息、以及与供给至保持部件供给位置(Sh)的多个保持部件(H)的位置相关的信息，分别独立地单独调整吸附嘴(28)的位置，以能够将多个吸附嘴(28)分别吸附的压电元件(P)分别配置在对应的保持部件(H)。
压电振动器件制造装置方法

[发明专利]光刻用膜形成材料、组合物、光刻用下层膜以及图案形成方法-CN202280018243.0在审
发明人：堀内淳矢;山本拓央;大松祯;佐藤隆;越后雅敏 -专利权人：三菱瓦斯化学株式会社
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：为了提供具有高的成膜性和溶剂溶解性且能够应用湿式工艺，固化性、膜的耐热性、膜的耐蚀刻性、向台阶基板的埋入性以及膜的平坦性优异，对形成光致抗蚀剂下层膜有用的光刻用膜形成材料等，本公开的光刻用膜形成材料包含：具有键合于芳香环的氨基的化合物，该化合物例如由说明书中记载的式(1A)、式(1B)、式(2)、式(3)、式(4)等表示。
光刻形成材料组合下层以及图案方法

[发明专利]树脂、组合物、抗蚀图案形成方法、电路图案形成方法及树脂的纯化方法-CN202280015277.4在审
发明人：堀内淳矢;牧野岛高史;佐藤隆;越后雅敏 -专利权人：三菱瓦斯化学株式会社
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C08G8/20 文献下载
摘要：本发明的课题为提供作为光刻用膜形成材料特别有用的新型树脂等。前述课题可以利用包含下述式(1)或(1)’所示的结构单元的树脂来解决。(式中，可变部如说明书中所记载。)#imgabs0#
树脂组合图案形成方法电路纯化

[发明专利]静电卡盘装置-CN201980025194.1有效
发明人： 佐藤隆 -专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的静电卡盘装置(1)具备：静电卡盘部件(2)，由陶瓷构成；温度调整用基底部件(3)，由金属构成；及供电用端子(16)，插入于温度调整用基底部件(3)内，且对设置在静电卡盘部件(2)上的静电吸附用电极(13)施加电压，静电吸附用电极(13)和供电用端子(16)经由导电性粘接层(17)连接，导电性粘接层(17)包括碳纤维和树脂，碳纤维的纵横比为100以上。
静电卡盘装置

[发明专利]用于制造成型体的模具、制造装置和制造方法-CN201980085724.1有效
发明人：田中亨;佐藤隆;加藤隼人;小田根和仁 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B22F3/02 文献下载
摘要：模具具有：划定长方体型的成型空间的6个面的一对第1模具部件、一对第2模具部件和一对第3模具部件。一对第3模具部件的至少一方具备：划定成型空间的上部空间的上部模具部件；和划定成型空间的下部空间且能与上部模具部件独立地进行滑动的下部模具部件。下部模具部件构成为通过相对于上部模具部件向成型空间突出，能形成台阶部。上部模具部件构成为能相对于下部模具部件相对地滑动以使得减小台阶部。上部模具部件和下部模具部件构成为能在维持了台阶部的状态以及没有台阶部的状态下一体地滑动。
用于制造成型模具装置方法

[发明专利]打印检查装置-CN201980059461.7有效
发明人： 佐藤隆;渡边宗明;栗原裕子 -专利权人：株式会社日立产机系统
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G06K7/14 文献下载
摘要：本发明目的在于提供一种在将由喷墨打印机等通用的打印机打印的包含二维码的图像作为多值图像导入，并用规定的二值化阈值来从多值图像生成二值图像之后，进行解码的打印检查装置中，能够获得最优的二值化阈值的打印检查装置。在实施实际的打印检查之前，实施读取测试。在该读取测试中，对于1个以上检查样品，将关于全部灰阶的亮度值作为阈值来实施多值图像的二值化并进行读取测试，求取可读取的亮度值的范围(最大值、最小值)之后，将最小值与最大值的中位数作为实际的打印检查中的二维码图像的二值化阈值。
打印检查装置

[发明专利]涡轮增压器-CN201980092087.0有效
发明人： 佐藤隆;荒川卓哉;二江贵也;段本洋辅;杉山晓洋 -专利权人：三菱重工发动机和增压器株式会社
申请日： 2019-02-21 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F16C33/66 文献下载
摘要：涡轮增压器具备：滚动轴承，其包含将旋转轴旋转自如地支承的至少一个转动体；轴承支承筒，位于比滚动轴承靠径向外侧，支承滚动轴承；以及外壳，位于比轴承支承筒靠径向外侧，覆盖轴承支承筒的外周。在轴承支承筒的外周面与外壳的内周面之间设置有间隙，该间隙用于通过润滑油的流入而形成油膜。轴承支承筒的外周面与外壳的内周面的至少一方包含用于抑制润滑油从间隙流出的油膜保持部。油膜保持部是设于轴承支承筒的外周面的凸部、或者设于外壳的内周面的凹部或者凸部。
涡轮增压

[发明专利]测定方法、测定装置及标记-CN202111516720.X在审
发明人： 佐藤隆 -专利权人：铠侠股份有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种测定方法、测定装置及标记。测定方法包括标记位置信息的生成、第1排列图案和第2排列图案中的至少一方的判定以及第1层与第2层的偏移的运算。标记位置信息是在第1层上形成了第2层之后生成的，表示第1对准标记与第2对准标记的相对位置关系，第1对准标记形成于第1层，包括亮部和暗部，第2对准标记形成于第2层，包括亮部和暗部。第1排列图案表示第1对准标记的亮部和暗部的排列图案。第2排列图案表示第2对准标记的亮部和暗部的排列图案。第1排列图案基于形成在与形成有第1对准标记的区域和形成有第2对准标记的区域不同的区域的基准标记的拍摄数据来进行判定。偏移基于第1排列图案和第2排列图案中的至少一方及标记位置信息来运算。
测定方法装置标记

[发明专利]光刻膜形成用组合物、抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法-CN202180048432.8在审
发明人： 佐藤隆;大松祯;牧野岛高史;越后雅敏 -专利权人：三菱瓦斯化学株式会社
申请日： 2021-07-08 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C07C39/14 文献下载
摘要：本发明为一种光刻膜形成用组合物，其含有：选自具有规定结构的化合物和将其作为单体得到的树脂中的至少1种。
光刻形成组合图案方法电路

[发明专利]化合物及其制造方法、产酸剂、组合物、抗蚀膜、下层膜、图案形成方法和光学物品-CN202180034592.7在审
发明人：工藤宏人;佐藤隆;大松祯;越后雅敏 -专利权人：学校法人关西大学;三菱瓦斯化学株式会社
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C07C381/12 文献下载
摘要：提供一种高灵敏度且分辨率高、具有高平坦性的化合物。下述式(P‑0)所示的化合物。(式(P‑0)中，Ar为碳原子数6～60的具有芳基的基团，ORTS各自独立地为羟基或具有特定离子部位的基团。n1为1～20的整数。其中，ORTS中的至少一个为具有特定离子部位的基团。)
化合物及其制造方法产酸剂组合抗蚀膜下层图案形成光学物品

[发明专利]化合物、(共)聚合物、组合物、抗蚀图案形成方法、以及化合物和(共)聚合物的制造方法-CN202180035126.0在审
发明人：大松祯;松本正裕;由利道裕;片冈健太郎;佐藤隆;越后雅敏 -专利权人：三菱瓦斯化学株式会社
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C08F20/26 文献下载
摘要：一种含碘的(甲基)丙烯酸酯化合物，其用式(1)表示。式(1)中，R1表示氢原子、甲基或卤素，R2各自独立地表示氢原子、碳数1～20的直链状的有机基团、碳数3～20的支链状的有机基团、或碳数3～20的环状的有机基团，A表示碳数1～30的有机基团，A包含至少1个酰基，n1表示0或1，n2表示1～20的整数。
化合物聚合物组合图案形成方法以及制造

[发明专利]模板、被加工构件及对准方法-CN202110865055.9在审
发明人： 佐藤隆;三木聪 -专利权人：铠侠股份有限公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：模板具备对准标记。对准标记包含第1主图案和第1辅助图案。第1主图案由第1部分和第2部分以规定的重复图案配置而成。第1辅助图案在第1主图案的端部外侧的区域以与重复图案相反的图案构成。
模板加工构件对准方法

[发明专利]模板、被加工构件及对齐方法-CN202110871757.8在审
发明人： 佐藤隆;三木聪 -专利权人：铠侠股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：对齐标记包含沿第1方向以第1间距排列的第1标记、和沿第1方向以第2间距排列的第2标记。第1标记中的至少其中之一包含第1区域和第3区域。第2标记中的至少其中之一包含第2区域和第3区域。第1区域具有沿第1方向以线和间隔状配置的第1图案。第2区域具有沿与第1方向正交的第2方向以线和间隔状配置的第2图案。
模板加工构件对齐方法

[发明专利]光刻用组合物和图案形成方法-CN202180012942.X在审
发明人：大松祯;松本正裕;佐藤隆;越后雅敏 -专利权人：三菱瓦斯化学株式会社
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供：能形成曝光灵敏度优异的图案、且可以得到与抗蚀层接触的膜、下层膜的光刻用组合物等。前述目的可以通过前述光刻用组合物而实现，所述光刻用组合物包含具有选自由碘、碲和氟组成的组中的至少1种元素的化合物、或包含具有源自前述化合物的结构单元的树脂，前述化合物中的前述原子的总质量为15质量％以上且75质量％以下。
光刻组合图案形成方法

[发明专利]旋转机械-CN202080094089.6在审
发明人： 佐藤隆;柴田直道 -专利权人：三菱重工发动机和增压器株式会社
申请日： 2020-03-26 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H02K5/20 文献下载
摘要：一种旋转机械，其具备：转子轴；压缩机部，与转子轴连接；转子部，在比压缩机部更靠近流过压缩机部的空气流的上游侧，与转子轴连接；定子部，隔开间隔地设置于转子部的外周部；及罩部，覆盖定子部与转子部之间的间隔的空气流的上游侧，并形成将间隔与比间隔更靠近空气流的上游侧的部位连通的开口部。
旋转机械

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