[发明专利]一种用于制备碳化硅粉料的合成炉和合成方法有效
| 申请号： | 201911349980.5 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111153406B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 李加林;李斌;张红岩;高超;刘家朋;李长进 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/963 | 分类号： | C01B32/963;F27B5/05;F27B5/16 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 王宽 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于制备碳化硅粉料的合成炉和合成方法，属于半导体材料制备领域。该碳化硅粉料合成炉，其包括炉体、坩埚组件和加热件，坩埚组件置于炉体形成的炉体腔内，其特征在于，坩埚组件包括坩埚和导流件，坩埚设置一级进气孔；导流件设置在坩埚形成的坩埚腔内，导流件包括设置多个二级进气孔的进气板和分别与二级进气孔连通的多个多孔导流管；进气板将坩埚腔分成缓冲腔和合成腔，原料气进入一级进气孔后沿着缓冲腔、二级进气孔和多孔导流管的路径从多孔导流管的孔隙流至合成腔，并与合成腔内固体原料反应生成碳化硅粉料。该碳化硅粉料合成炉制得的碳化硅粉料的纯度高、粒度均匀，而且可以调节制得的碳化硅粉料的粒径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 碳化硅 合成 方法 | ||
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- 本发明提供一种碳化硅纳米粉末合成装置，包括反应箱、收集箱和油缸，所述收集箱通过螺栓安装在反应箱一侧，所述反应箱内设置有空腔，所述空腔内设置有网孔板，所述网孔板通过支杆焊接在空腔内壁顶部，所述网孔板两侧均焊接有接料板，所述反应箱顶部通过螺栓安装有电机一，所述电机一的输出轴上安装有连接块，所述连接块设置在网孔板顶部，所述反应箱内设置有推动板，所述推动板内安装有加热板，所述油缸内设置有活塞头，所述活塞头顶部设置有活塞杆，所述活塞杆顶部通过螺栓安装在推动板底部，所述油缸底部焊接有放置箱，所述放置箱内安装有齿轮泵，该碳化硅纳米粉末合成装置设计新颖，结构合理，便于操作，适合推广。
- 一种纳米ZrC-SiC复合粉体的制备方法-201610978528.5
- 廉晓庆 - 西安科技大学
- 2016-11-08 - 2018-10-19 - C01B32/963
- 本发明公开了一种纳米ZrC‑SiC复合粉体的制备方法，具体包括以下步骤：将ZrOCl2·8H2O、乙酰丙酮、丙醇、无水乙醇、双氧水按照1:4:4:40:1的摩尔比例配制成溶液，然后再加入PEG1000，得到初始反应液；将初始反应液于冷凝回流条件下酯化反应，得到酯化液；用氨水调节酯化液的pH，继续搅拌，得到水解溶液；向水解溶液中加入蔗糖，继续搅拌，得到有机锆质先驱体溶液；制备无机硅质先驱体溶液；将无机硅质先驱体溶液倒入有机锆质先驱体溶液中，持续搅拌，得到有机锆质‑无机硅质复合先驱体溶液后在真空干燥箱中固化，最后氩气保护烧结，得到纳米ZrC‑SiC复合粉体。该方法合成温度较低，且制备无机锆先驱体时产物含量高，操作简单，成本低，适合于大规模的工业化生产。
- 一种超纯纳米碳化硅及其制备方法-201810678749.X
- 李翔;唐恺 - 江苏大学
- 2018-06-27 - 2018-09-21 - C01B32/963
- 本发明提供了一种超纯纳米碳化硅及其制备方法，包括如下步骤：气体反应前驱体的制备：将含碳气体和含硅气体，按Si:C摩尔比为1:1.0～1:1.06，混合即得到气体反应前驱体；超纯纳米碳化硅的制备：将气体反应前驱体导入预热后的陶瓷反应器内，气体反应前驱体在陶瓷反应器内的高温区直接合成粒度为50‑500nm的纳米碳化硅。预热后的所述陶瓷反应器内的温度为1100‑2200℃。所述陶瓷反应器的压力为1‑5个大气压。本发明可以合成单一晶型的纳米碳化硅粉体。
- 一种碳化硅纳米多孔材料的制备方法-201510512302.1
- 马建锋;刘青;姚超 - 常州大学
- 2015-08-19 - 2018-01-02 - C01B32/963
- 本发明公开一种碳化硅纳米多孔材料的制备方法。依次包括如下步骤在水浴下向海泡石的悬浊液中滴加八烷基三甲基溴化铵溶液，滴加完毕后再滴加丙酮，滴加完毕后于相同条件下继续搅拌，最后离心分离，洗涤烘干并研磨；将粉末置于管式炉中通N2保护下碳化，将碳化后的固体物放入瓶中，加入盐酸溶液，搅拌，固液分离，洗涤，烘干；将得到的颗粒置于管式炉中，在氩气保护下，程序升温煅烧后冷却至室温，将煅烧的产物浸泡于氢氟酸与盐酸的混合酸中，清洗掉未反应二氧化硅，用去离子水洗涤烘干，得到碳化硅纳米多孔材料。该方法以海泡石中的硅为原材料，充分利用海泡石的多孔结构，原料来源廉价，过程可控，易于实现工业化生产。
- 一种碳化硅纳米棒的制备方法-201510512133.1
- 马建锋;刘青;姚超 - 常州大学
- 2015-08-19 - 2017-12-01 - C01B32/963
- 本发明公开一种碳化硅纳米棒的制备方法。依次包括如下步骤在水浴下向凹凸棒石的悬浊液中滴加十六烷基三甲基溴化铵溶液，滴加完毕后再滴加丙酮，滴加完毕后于相同条件下继续搅拌，最后离心分离，洗涤烘干并研磨；将粉末置于管式炉中通N2保护下碳化，将碳化后的固体物放入瓶中，加入盐酸溶液，搅拌，固液分离，洗涤，烘干；将得到的颗粒置于管式炉中，在氩气保护下，程序升温煅烧后冷却至室温，将煅烧的产物浸泡于氢氟酸与盐酸的混合酸中，清洗掉未反应二氧化硅，用去离子水洗涤烘干，得到碳化硅纳米棒。该方法以凹凸棒石中的硅为原材料，充分利用凹凸棒石的棒状结构，原料来源廉价，过程可控，易于实现工业化生产。
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