[发明专利]半导体存储器装置以及该半导体存储器装置的制造方法

摘要

提供了一种半导体存储器装置以及该半导体存储器装置的制造方法。一种半导体存储器装置包括：下层叠结构，其在基板上并且包括在垂直方向上层叠的多个下层；中间层叠结构，其在下层叠结构上并且包括在垂直方向上层叠的多个中间层；多个凹槽，其在接触区域中并且穿透中间层叠结构，所述多个凹槽按照不同的深度暴露下层叠结构；以及多个台阶，其沿着凹槽的侧壁形成。