[发明专利]成膜装置和成膜方法

摘要

本发明提供在对基板供给相互反应而成为膜物质的成膜气体、形成由膜物质构成的膜的成膜装置中，生产率高、且提高在基板形成的膜的膜厚的面内均匀性和面间均匀性的技术。在处理容器内设置使基板绕旋转轴公转的旋转台，构成为进行载置于旋转台的加热。另外，配置向旋转台吐出成膜气体的气体供给部，使其在旋转台旋转时与基板发生移动的移动区域相对，设置气体供给孔使其从旋转台的中心侧至周缘侧的范围与移动区域交叉。而且在移动区域中的互相重叠的区域同时供给第一成膜气体和第二成膜气体。因此，能够连续处理多个基板，因此生产率提高，并且在基板形成的膜的膜厚的面内均匀性和面间均匀性良好。

主权项

1.一种成膜装置，其特征在于，包括：形成真空气氛的处理容器；旋转台，其设置在所述处理容器内，用于载置多个基板的基板载置区域形成在其上表面侧，具有使所述基板载置区域绕旋转轴公转的旋转机构；加热机构，其加热载置于所述基板载置区域的基板；气体供给部，其以在使所述旋转台旋转时，与基板发生移动的移动区域相对的方式设置，吐气孔、从所述旋转台的旋转中心侧至周缘侧的范围以与所述移动区域交叉的方式形成，该吐气孔用于向所述旋转台侧吐出作为用于吸附于利用所述加热机构加热的基板的表面、且用于互相反应而形成膜物质的作为成膜气体的第一成膜气体和第二成膜气体；和用于将所述处理容器内排气的排气部，所述第一成膜气体和第二成膜气体同时被供给到所述移动区域的互相重叠的区域。