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- [发明专利]连续处理装置和连续处理方法-CN200410039798.7无效
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足助慎太郎;森义明
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精工爱普生株式会社
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2004-03-17
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2004-09-22
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G02F1/13
- 本发明提供一种连续处理装置,对被处理体(14)的处理对象面(17)连续实施多种处理,包括:保持被处理体(14)并沿着输送方向(T)输送被处理体(14)的被处理体输送部(20)、排列配置在沿被处理体(14)的输送方向(T)并在大气压或大气压附近压力下对被处理体(14)依次实施分别不同的处理的多种处理单元(51、52、53、54、55、56、57),多种处理单元的种类,可以自由进行组合的变更或者追加。这样,可以对被处理体的处理对象面连续、有效实施多种处理,变更或追加多种处理的组合,顺利进行连续处理。本发明也同时提供一种连续处理方法。
- 连续处理装置方法
- [发明专利]连续扩散处理装置-CN201110022082.6无效
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服部昌;森川清彦
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光洋热系统株式会社
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2011-01-19
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2012-02-01
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C30B31/10
- 本发明提供一种连续扩散处理装置,能降低能量损耗,并能兼顾提高生产效率和提高处理质量。本发明的连续扩散处理装置包括:输送台(50),输送板状的被处理件;筒形的加热炉(1),呈直线状延伸;输送装置(2),通过把输送台(50)一个一个地推入加热炉(1)内来输送输送台,使以前送入到加热炉(1)内的输送台(50)呈列状地在加热炉(1)内移动;多个第一隔壁构件(7),将从加热炉(1)内的送入口(11)到送出口(12)之间划分为多个处理区。输送装置(2)使输送台(50)以处理区为单位间歇移动。输送台(50)具备第二隔壁构件(54),它封闭第一隔壁构件(7)的开口(7c),并把相邻的处理区之间隔开。
- 连续扩散处理装置
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