[发明专利]复合结构物和其评价方法、半导体和显示屏制造装置有效
| 申请号： | 201910171153.5 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN110246811B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 岩泽顺一;芹泽宏明;和田琢真;滝沢亮人;青岛利裕;高桥祐宜;金城厚 | 申请（专利权）人： | TOTO株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/29 | 分类号： | H01L23/29;C04B41/87;C23C24/04;G01N23/203;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;王玉玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抗粒子性出色的陶瓷涂层以及评价陶瓷涂层的抗粒子性的方法。具体而言，是一种包含基体材料及设置在所述基体材料上且具有表面的结构物的复合结构物，结构物包含多结晶陶瓷，将通过TEM图像解析算出的亮度Sa满足规定值的复合结构物，可作为要求具有抗粒子性的半导体制造装置的内部构件而适当加以使用。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 结构 评价 方法 半导体 显示屏 制造 装置 | ||
【主权项】：
1.一种复合结构物，包含基体材料及设置在所述基体材料上且具有表面的结构物，其特征为，所述结构物包含多结晶陶瓷，通过二次离子质谱分析法即Dynamic‑Secondary Ion Mass Spectrometry_D‑SIMS法测定出的测定深度为500nm或2μm的任意一个时的单位体积的氢原子数为7*1021atoms/cm3以下。
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