[发明专利]旋转电机的控制方法有效
| 申请号： | 201910120302.5 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN110535402B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 杜青 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H02P29/10 | 分类号： | H02P29/10 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 兰天爵 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转电机的控制方法，其用于控制半导体设备的机台旋转装置中的旋转电机，包括：速度设定步骤，用于在执行工艺菜单之前设定目标转速，通过实时获取旋转电机反馈的转速判断速度设定是否成功；维持转速步骤，用于在执行工艺菜单的过程中维持所述旋转电机的转速；降速返回原点步骤，用于在工艺菜单执行结束后使所述旋转电机降速并返回原点，通过实时获取所述旋转电机反馈的状态以及检测所述旋转电机是否处于原点位置判断所述旋转电机返回原点是否成功。本发明通过在工艺菜单开始前的速度设定步骤以及结束后的降速返回原点步骤中，对旋转电机采取闭环控制，确保对旋转电机的控制命令执行成功，使旋转电机的控制更加安全、可靠及稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 电机 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种旋转电机的控制方法，用于控制半导体设备的机台旋转装置中的旋转电机，其特征在于，包括：/n步骤S1，在执行工艺菜单之前设定目标转速，并通过实时获取旋转电机反馈的转速判断速度设定是否成功；/n步骤S2，在执行工艺菜单的过程中维持所述旋转电机的转速；/n步骤S3，在工艺菜单执行结束后使所述旋转电机降速并返回原点，并通过实时获取所述旋转电机反馈的状态以及检测所述旋转电机是否处于原点位置判断所述旋转电机返回原点是否成功。/n
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