[发明专利]硅基熔融组合物和使用其的碳化硅单晶的制造方法有效
| 申请号： | 201880012928.8 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110382751B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李虎林;郑粲烨;朴满植;高正旼 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B9/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵丹;冷永华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本公开涉及硅基熔融组合物，其用于形成碳化硅单晶的溶液生长技术中，并且由包含硅、第一金属(M1)、钪(Sc)和铝(Al)的下式1表示：Si |
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| 搜索关键词： | 熔融 组合 使用 碳化硅 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅基熔融组合物，其用于形成碳化硅单晶的溶液生长法，并且由下式1表示，包含硅、第一金属(M1)、钪(Sc)和铝(Al)，SiaM1bSccAld (式1)在式1中，a大于0.4且小于0.8，b大于0.2且小于0.6，c大于0.01且小于0.1，以及d大于0.01且小于0.1。
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