[实用新型]一种氮化硅炉管设备

摘要

本实用新型公开了一种氮化硅炉管设备，包含沉积炉管室、进气管，进气管与沉积炉管室相连通，进气管包含进气管一、进气管二和进气管三；设置在沉积炉管室内的多个喷嘴，喷嘴包含清洁喷嘴、沉积喷嘴及共享喷嘴。本实用新型通过改进氮化硅炉管设备的喷嘴设置，大大降低清洁喷嘴微尘颗粒积累的情况，随着氮化硅炉管设备运行时间的变化，氮化硅炉管产生的微尘颗粒量基本保持不变，且氮化硅炉管设备内顶部、中部和底部三个位置的沉积氮化硅薄膜厚度随着清洁喷嘴使用时间的增加也基本保持不变，制程晶圆上沉积的氮化硅薄膜厚度的稳定性很好；另一方面，由于喷嘴数量减少，也节约了设备部件的采购费用，大大降低了企业成本。

主权项

1.一种氮化硅炉管设备，包含沉积炉管室，其特征在于，所述氮化硅炉管设备还包含：进气管，所述进气管与所述沉积炉管室相连通，所述进气管包含进气管一、进气管二和进气管三；设置在所述沉积炉管室内的多个喷嘴，所述喷嘴包含清洁喷嘴、沉积喷嘴及共享喷嘴；所述清洁喷嘴穿过所述沉积炉管室与所述进气管一相连通，用于提供清洁气体；所述沉积喷嘴穿过所述沉积炉管室与所述进气管二相连通，用于提供沉积气体一；所述共享喷嘴穿过所述沉积炉管室与所述进气管三相连通，用于提供清洁气体、腐蚀气体及沉积气体二。