[实用新型]一种高效的管式炉上下料系统

摘要

本实用新型公开一种高效的管式炉上下料系统，传送带装置用于将硅片在导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置之间传送，且传送带装置的一端可从中转花篮装置的第一侧伸缩进出其内部；所述机械手用于沿垂直于第一方向的第二方向从每一上料装置或下料装置的中转花篮装置第一侧的相邻一侧插入，一次性将若干中转花篮装置中的硅片取出上料或将硅片放入若干中转花篮装置下料。本实用新型多列硅片同时上下料，缩短上下料时间，机械手一次取放，增加了上下料的产能，一套上下料系统可满足更多数量的炉管，提高自动化上下料效率，增大了设备产能。

主权项

1.一种高效的管式炉上下料系统，其特征在于，包括若干上料装置、若干下料装置、机械手；所述上料装置、下料装置均包括导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置、传送带装置；同一上料装置或下料装置中的导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置分布在第一方向的一条直线上；所述传送带装置用于将硅片在导片花篮装置、缓存花篮装置、中转花篮装置之间传送，且传送带装置的一端可从中转花篮装置的第一侧伸缩进出其内部；所述机械手用于沿垂直于第一方向的第二方向从每一上料装置或下料装置的中转花篮装置第一侧的相邻一侧插入，一次性将若干中转花篮装置中的硅片取出上料或将硅片放入若干中转花篮装置下料。