[发明专利]一种超音波增强电镀装置有效
| 申请号： | 201811197205.8 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN109056018B | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 黄荣龙;侯利然 | 申请（专利权）人： | 安徽宏实自动化装备有限公司 |
| 主分类号： | C25D5/20 | 分类号： | C25D5/20;C25D7/12;C25D17/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230001 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超音波增强电镀装置，包括电镀池和超声波震板，所述电镀池的内侧壁固定连接有阳极板，所述阳极板与电镀电源的正极连接，所述电镀池的内底壁连接有超声波震板，所述超声波震板通过高频线与超声波发生器连接，所述超声波震板的外壁上端固定连接有磁条，所述电镀池远离阳极板的外侧壁固定连接有连接台，超声波震板发出超声波，从而有效减薄阴极膜的厚度，进而提升电镀效果，可减少对前处理的依赖，避免漏镀的问题，有效避免了池壁对于超声波的吸收作用，效率更高，进而提升电镀效果。晶圆夹具可适配固定多种尺寸的晶圆，有效防止因夹具的力度过大导致的晶圆损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超音波 增强 电镀 装置 | ||
【主权项】：
1.一种超音波增强电镀装置，包括电镀池(1)和超声波震板(3)，其特征在于，所述电镀池(1)的内侧壁固定连接有阳极板(2)，所述阳极板(2)与电镀电源的正极连接，所述电镀池(1)的内底壁连接有超声波震板(3)，所述超声波震板(3)通过高频线与超声波发生器连接，所述超声波震板(3)的外壁上端固定连接有磁条(8)，所述电镀池(1)远离阳极板(2)的外侧壁固定连接有连接台(4)，所述连接台(4)铰接有磁性连接杆(5)的一端，所述磁性连接杆(5)为凹字形结构，所述磁性连接杆(5)远离连接台(4)的一端固定连接有晶圆夹具(6)，所述晶圆夹具(6)夹有晶圆，所述晶圆与电镀电源的负极连接；所述晶圆夹具(6)包括安装壳(601)和缓冲盖板(618)，所述缓冲盖板(618)与安装壳(601)固定连接，所述安装壳(601)由环形侧板和圆底板构成，所述安装壳(601)的圆底板外侧壁固定连接有两个平行设置的套板(602)，所述套板(602)转动套接在蜗杆(603)的两端，所述蜗杆(603)的一端连接有旋钮(604)，所述蜗杆(603)啮合有蜗轮(605)，所述蜗轮(605)同轴固定连接有转轴(606)的一端，所述转轴(606)转动插接在圆底板的中心处，所述转轴(606)的另一端固定套接有固定轴承(607)，所述固定轴承(607)固定连接在缓冲盖板(618)的中心处，所述转轴(606)位于安装壳(601)内部的一段固定套接有第一齿轮(608)和第二齿轮(610)，所述第一齿轮(608)和第二齿轮(610)规格相同，所述第一齿轮(608)啮合有两个平行设置的第一齿条(609)，所述第二齿轮(610)啮合有两个平行设置的第二齿条(611)，且第一齿条(609)和第二齿条(611)规格相同，所述第一齿条(609)和第二齿条(611)垂直设置且关于转轴(606)的轴心中心对称设置，两个所述第二齿条(611)和其中一个第一齿条(609)各固定连接有一个长度调节装置(616)的一端，所述长度调节装置(616)的另一端贯穿环形侧板到达安装壳(601)的外部，另一个所述第一齿条(609)固定连接有压力检测装置(617)，所述压力检测装置(617)的另一端贯穿环形侧板到达安装壳(601)的外部，每个所述长度调节装置(616)均滑动连接在两个限位隔板(612)之间，所述限位隔板(612)固定连接在圆底板上，所述压力检测装置(617)滑动连接一个限位隔板(612)和一个定位隔板(613)之间；所述定位隔板(613)包括限位卡板和活动卡板，所述限位卡板位于活动卡板正下方，所述限位卡板固定连接在在圆底板上，所述活动卡板靠近压力检测装置(617)的侧壁开设有轮齿型卡槽，所述活动卡板远离压力检测装置(617)的侧壁固定连接有L型拉杆(614)，所述L型拉杆(614)平行于圆底板的一段活动套接有连接板(615)，所述连接板(615)通过连接弹簧与活动卡板连接，所述连接板(615)固定连接在圆底板上，所述L型拉杆(614)垂直于圆底板的一段贯穿圆底板上开设的条形通孔并到达安装壳(601)的外部；所述压力检测装置(617)和长度调节装置(616)均包括滑动组件(6171)，所述压力检测装置(617)上的滑动组件(6171)与其中一个第一齿条(609)连接，并在一个限位隔板(612)和一个定位隔板(613)之间滑动，三个长度调节装置(616)上的滑动组件(6171)分别与另一个第一齿条(609)和两个第二齿条(611)连接，并在两个限位隔板(612)之间滑动，所述滑动组件(6171)远离转轴(606)的一端固定连接有L型连接杆(6172)的一端，所述L型连接杆(6172)的另一端贯穿环形侧板后到达安装壳(601)的外部，所述L型连接杆(6172)垂直于圆底板的一段通过检测弹簧(6173)连接有抵触板(6174)，所述抵触板(6174)为圆弧板，所述抵触板(6174)固定连接有滑动框(6175)，所述滑动框(6175)滑动套接在L型连接杆(6172)平行于圆底板的一段上。
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- 本发明涉及一种抗菌防霉抗病毒氧化不锈钢及其制备方法，所述制备方法先将不锈钢进行前处理，然后采用超声‑脉冲电沉积复合工艺在不锈钢表面形成抗菌层，随后采用超声‑阳极氧化复合工艺在所述抗菌层表面形成着色膜，得到抗菌防霉抗病毒氧化不锈钢。本发明所述制备方法将超声分别和脉冲电沉积、阳极氧化复合，不仅有助于提高膜层的均匀性和覆盖率，还可以使得膜层致密性、有效抗菌成分的含量以及膜层与基体之间的结合强度均得到提高，制备得到的抗菌防霉抗病毒氧化不锈钢不仅膜层长效稳定且结合能力牢固，具有长效的抗菌防霉抗病毒性能，还可以实现膜层色彩均匀，而且，所述制备方法成本较低，绿色环保，适合大规模推广。
- 一种利用直接超声振动增加电镀铜硬度的制备方法-202010249683.X
- 杨光;李月 - 集美大学
- 2020-04-01 - 2021-04-06 - C25D5/20
- 一种利用直接超声振动增加电镀铜硬度的制备方法，涉及金属强化领域。在电镀槽中加入水，再依次加入硫酸铜、氯离子和硫酸，然后加入四氢噻唑硫酮、聚乙二醇、聚二疏二丙烷磺酸钠、乙撑疏脲和巯基苯骈咪唑，搅拌；将1％～3％的磷铜放入阳极篮中并接入正极，将镍制原模接入负极，调节超声功率为210～300W，频率为20～50kHz，调整电流密度为2～3A/dm
- 一种金属镀层加工用辅助设备-202021540034.7
- 张型国;许晋;何琳 - 山东工业技师学院
- 2020-07-30 - 2021-03-12 - C25D5/20
- 本实用新型公开了一种金属镀层加工用辅助设备，包括导轨，所述导轨的一侧设置有伺服电机，所述导轨的内部转动安装有丝杆，所述伺服电机的输出轴延伸至导轨的内部与丝杆的一端传动连接，所述导轨的底部外表面开设有条状开口，所述丝杆的中部螺纹安装有滚珠螺母，所述滚珠螺母的外壁固定安装有连接杆，所述连接杆的底端穿过条状开口延伸至导轨的下方。本实用新型所述的一种金属镀层加工用辅助设备，通过超声波振动棒提供激振力，激振力传递至电解液内，通过振动使正在成型的镀层细致均匀，提高镀层质量，还能使超声波振动棒等组件横向运动，以便于转移超声波振动棒的位置，提高加工中激振力分布均匀度。
- 一种利用超声波电镀金刚石钻头的方法-202011180405.X
- 肖迅 - 江西上品金刚石工具科技有限公司
- 2020-10-29 - 2021-02-23 - C25D5/20
- 本发明公开了一种利用超声波电镀金刚石钻头的方法，涉及金刚石钻头领域，包括以下步骤：步骤一：将金刚石钻头进行清洗，去除表面杂质，包括浸泡、酸洗、电解、超声波清洗和冲洗；步骤二：配置电镀液，并将清洗完成后的金刚石垂直放置与电镀液中进行浸泡，金刚石的底端设置有旋转座。本发明通过设置的在进行超声波镀层之前，采用浸泡、酸洗、电解、超声波清洗和冲洗等方式对钻头进行清洁，可以大大提高钻头的清洁程度，研究表明超声波在镀液中传播时分布不均很大一部分来自工件电镀之前的清洁情况，采用多种清洁方式和混合清洁液将钻头进行浸泡、酸洗、电解等，同时还可以提高钻头镀层后的耐腐蚀性，使得镀层颗粒更加精细，镀层效果更好。
- 一种超声波振动电镀装置-202020081663.1
- 冉俊清 - 杭州佳兴镀锌有限公司
- 2020-01-11 - 2020-12-15 - C25D5/20
- 本实用新型公开了一种超声波振动电镀装置，包括底座，底座的上侧壁面滑动连接有降噪机构，底座的内侧壁面滑动连接有左卡板与右卡板，左卡板与右卡板通过传动机构连接，左卡板与右卡板之间卡接有电镀装置，电镀装置包括电镀槽，电镀槽的内侧壁面固定连接有超声波发生器，电镀槽的内部设有电镀阳极与电镀阴极，本装置结构简单，操作便捷，装置中增设有卡板将电镀装置卡接，装置启用前将外侧横板相互卡接，内部隔音垫阻隔内部噪音的溢出，支撑柱可在底座上侧壁面进行滑动，于左右卡板内侧壁面可卡接不同尺寸的电镀槽，较为便捷，且减小了噪音干扰。
- 一种电镀工艺-202010296675.0
- 刘友好;查善顺;王守春;衣晓飞;陈静武 - 安徽大地熊新材料股份有限公司
- 2020-04-15 - 2020-07-14 - C25D5/20
- 本发明公开了一种电镀工艺，包括以下工序：预处理工序，所述预处理工序中对磁体的表面进行预处理；抽真空工序，所述真空工序中对预处理后的磁体抽真空并保持抽真空状态；电镀工序，所述电镀工序中将抽真空后的磁体浸入电镀液中，在负压、超声波和水流冲击的条件下，在磁体表面电镀金属防护层。该电镀工艺制得的金属防护层与磁体的结合强度高，且耐蚀性好，不易脱落，并且电镀效率高。
- 一种超音波增强电镀装置-201811197205.8
- 黄荣龙;侯利然 - 安徽宏实自动化装备有限公司
- 2018-10-15 - 2020-05-12 - C25D5/20
- 本发明公开了一种超音波增强电镀装置，包括电镀池和超声波震板，所述电镀池的内侧壁固定连接有阳极板，所述阳极板与电镀电源的正极连接，所述电镀池的内底壁连接有超声波震板，所述超声波震板通过高频线与超声波发生器连接，所述超声波震板的外壁上端固定连接有磁条，所述电镀池远离阳极板的外侧壁固定连接有连接台，超声波震板发出超声波，从而有效减薄阴极膜的厚度，进而提升电镀效果，可减少对前处理的依赖，避免漏镀的问题，有效避免了池壁对于超声波的吸收作用，效率更高，进而提升电镀效果。晶圆夹具可适配固定多种尺寸的晶圆，有效防止因夹具的力度过大导致的晶圆损坏。
- 在基板上均匀金属化的装置及方法-201510086513.3
- 王希;王晖 - 盛美半导体设备(上海)股份有限公司
- 2015-02-17 - 2020-04-24 - C25D5/20
- 本发明揭露了在基板上均匀金属化的装置及方法。根据本发明的一实施例，提出的在基板上均匀金属化的装置包括：浸入式腔体、至少一组电极、基板固持装置、至少一个超声波或兆声波装置及反射板以及旋转驱动装置。浸入式腔体盛放至少一种金属盐电解液。至少一组电极与一个独立电源相连接。基板固持装置固持至少一块基板，并且该基板固持装置与基板可导电的一面电连接，基板可导电的一面面向一个电极。至少一个超声波或兆声波装置及反射板被平行地设置，以在浸入式腔体内形成超声波或兆声波驻波。旋转驱动装置带动基板固持装置绕着其轴线在驻波区域内旋转，以使在累积时间内，基板表面获得均匀的声能强度分布。
- 一种超声辅助电镀装置-201821672465.1
- 姬东幸;李庚华 - 江苏天通设备科技有限公司
- 2018-10-16 - 2019-06-11 - C25D5/20
- 本实用新型公开了一种超声辅助电镀装置，包括电镀槽和螺栓连接于电镀槽顶部的槽盖，电镀槽的内部设置有电镀阳极、电镀阴极、超声波发生器和移动机构，超声波发生器有两个，分别固定于电镀槽左侧内壁和右侧内壁的前端底部，电镀槽左侧内壁和右侧内壁的中部均设置有垂直于电镀槽底壁的第一滑轨，移动机构包括移动块和料框，移动块的两侧均垂直固定有支撑杆，支撑杆的外端通过第一滑轨滑块滑动连接于第一滑轨中，槽盖的中部设置有开口，其顶部设置有左挡板和右挡板。本实用新型通过超声波的搅拌作用，可以使工件和电镀液更加充分的接触，且左挡板和右挡板可避免杂质掉进电解液中和电解液溅出的情况。
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