[实用新型]电镀装置有效
| 申请号： | 201120122439.3 | 申请日： | 2011-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN202107790U | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 边国栋 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C25D21/00 | 分类号： | C25D21/00;C25D21/10 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电镀装置，所述电镀装置包括：电镀容器，所述电镀容器中容纳电镀液；第一分隔组件和第二分隔组件，所述第一分隔组件和所述第二分隔组件间隔地设置在所述电镀容器中，且将所述电镀容器分隔成电镀液混合区、电镀区和电镀液抽取区，其中所述电镀液混合区与所述电镀区连通，所述电镀区与所述电镀液抽取区连通；搅拌器，所述搅拌器对所述电镀液混合区中的电镀液进行搅拌；以及电镀液抽取器，所述电镀液抽取器将所述电镀容器中的电镀液抽取区中的电镀液抽取到所述电镀液混合区中。根据本实用新型实施例的电镀装置可以维持整个电镀环境的离子浓度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 装置 | ||
【主权项】：
一种电镀装置，其特征在于，包括：电镀容器，所述电镀容器中容纳电镀液；第一分隔组件和第二分隔组件，所述第一分隔组件和所述第二分隔组件间隔地设置在所述电镀容器中，且将所述电镀容器分隔成电镀液混合区、电镀区和电镀液抽取区，其中所述电镀液混合区与所述电镀区连通，所述电镀区与所述电镀液抽取区连通；搅拌器，所述搅拌器对所述电镀液混合区中的电镀液进行搅拌；以及电镀液抽取器，所述电镀液抽取器将所述电镀液抽取区中的电镀液抽取到所述电镀液混合区中。
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