[发明专利]产生检查方案的方法和其系统

摘要

提供了产生可用于检查样本的检查方案的系统和方法，方法包括：从裸片捕获图像并且获得指示图像上的噪声分布的噪声图；接收表示多个设计分组的设计数据，每个设计分组具有相同设计图案；计算每个给定的设计分组的分组评分，分组评分是基于与给定设计分组相关联的噪声数据和为给定设计分组的面积分配的缺陷预算来计算；提供与裸片有关的分段，包括：基于分组评分使用指示不同噪声等级的分段标签来关联设计分组，由此获得一组裸片分段，每个裸片分段对应于与相同分段标签相关联的一个或多个设计分组和分段配置数据；和使用分段配置数据产生检查方案。

主权项

1.一种产生可用于检查样本的检查方案的计算机化系统，所述系统包括：检查工具，经构造以从所述样本的一个或多个裸片捕获一个或多个图像并且获得指示在所述一个或多个图像上的噪声分布的噪声图；I/O接口，经构造以接收所述一个或多个裸片的设计数据，所述设计数据表示多个设计分组，每个所述设计分组对应于具有所述相同设计图案的一个或多个裸片区域；和处理单元，可操作地连接到所述检查工具和所述I/O接口，所述处理单元包含存储器和可操作地耦接到所述存储器的处理器，其中所述处理单元经构造以：计算每个给定设计分组的分组评分，其中所述噪声图与所述设计数据对准，使得所述多个设计分组的每个给定设计分组与对应于所述给定设计分组的所述裸片区域内的噪声数据相关联，并且其中所述分组评分是基于与所述给定设计分组相关联的所述噪声数据和为所述给定设计分组的面积分配的缺陷预算来计算的；提供与所述一个或多个裸片有关的分段，包含：基于所述给定设计分组的所述分组评分使用一组预定义分段标签的一个分段标签来关联每个给定设计分组，所述分段标签指示不同噪声等级，由此获得一组裸片分段，每个所述裸片分段对应于与相同的所述分段标签相关联的一个或多个设计分组和为所述分段提供信息的分段配置数据；和使用所述分段配置数据产生检查方案。