[发明专利]产生检查方案的方法和其系统

权利要求书

1.一种产生用于检查样本的检查方案的计算机化系统，所述系统包括：

检查工具，经构造以从所述样本的一个或多个裸片捕获一个或多个图像并且获得指示在所述一个或多个图像上的噪声分布的噪声图；

I/O接口，经构造以接收所述一个或多个裸片的设计数据，所述设计数据表示多个设计分组，每个所述设计分组对应于具有相同设计图案的一个或多个裸片区域；和

处理单元，可操作地连接到所述检查工具和所述I/O接口，所述处理单元包含存储器和可操作地耦接到所述存储器的处理器，其中所述处理单元经构造以：

计算所述多个设计分组的每个设计分组的分组评分，其中所述噪声图与所述设计数据对准，使得所述多个设计分组的每个设计分组与一个或多个对应裸片区域内的噪声数据相关联，并且其中所述多个设计分组的给定设计分组的分组评分是基于与所述给定设计分组相关联的所述噪声数据和为所述给定设计分组的面积分配的缺陷预算来计算的；

通过基于为其计算的所述分组评分将每个设计分组与一组预定义分段标签的一个分段标签相关联，从而提供与所述一个或多个裸片有关的分段，所述分段标签指示不同噪声等级，由此获得一组裸片分段，每个所述裸片分段对应于与相同的所述分段标签相关联的一个或多个设计分组和为所述分段提供信息的分段配置数据；和

使用所述分段配置数据产生检查方案。

2.如权利要求1所述的计算机化系统，其中所述处理单元进一步经构造以配准所述设计数据与所述噪声图，使得所述噪声图与所述设计数据对准。

3.如权利要求1所述的计算机化系统，其中所述噪声图指示在从至少所述样本的多个裸片捕获的多个图像上的统计噪声分布。

4.如权利要求1所述的计算机化系统，其中所述噪声分布包括在所述噪声图中指示的噪声的一个或多个噪声特性，所述一个或多个噪声特性包含所述噪声的位置。

5.如权利要求1所述的计算机化系统，其中所述噪声分布包括在所述噪声图中指示的噪声的一个或多个噪声特性，所述一个或多个噪声特性包含所述噪声的位置和下列中的至少一个：所述噪声的强度和大小。

6.如权利要求1所述的计算机化系统，其中在所述噪声图中指示的噪声包括图案相关噪声。

7.如权利要求1所述的计算机化系统，其中所述噪声图包括关于植入缺陷的信息，所述植入缺陷为在预定义位置中添加到所述一个或多个图像的模拟缺陷，所述预定义位置与设计关注图案(POI)相关联，并且其中包括所述设计关注图案的所述给定设计分组的所述分组评分是基于所述植入缺陷的信息来计算的。

8.如权利要求1所述的计算机化系统，其中所述检查工具为检验工具，所述检验工具经构造以使用敏感检查配置以扫描所述样本来捕获所述一个或多个图像，并且其中所述噪声图是使用低检测阈值来获得的。

9.如权利要求1所述的计算机化系统，其中所述分组评分是通过将为所述给定设计分组分配的所述缺陷预算应用到噪声直方图来计算的阈值，所述噪声直方图是基于与所述给定设计分组相关联的所述噪声数据产生的。

10.如权利要求1所述的计算机化系统，其中进一步基于在所述多个设计分组之间的重叠来计算所述多个设计分组的给定设计分组的分组评分。

11.如权利要求1所述的计算机化系统，其中所述组预定义分段标签指示安静、嘈杂和非常嘈杂的噪声等级。

12.如权利要求1所述的计算机化系统，其中所述分段配置数据用于为每个裸片分段配置检测阈值。