[发明专利]半导体元件及其制作方法有效
申请号: | 201811044897.2 | 申请日: | 2018-09-07 |
公开(公告)号: | CN110890460B | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 翁宸毅;张境尹 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H10N50/01 | 分类号: | H10N50/01;H10N50/10;H10B61/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开一种半导体元件及其制作方法,该制作半导体元件的方法主要先形成一磁性隧穿接面(magnetic tunneling junction,MTJ)于一基底上,然后形成一衬垫层于该MTJ上,去除部分衬垫层以形成一开口暴露该MTJ,之后再形成一导电层于开口内,其中导电层上表面切齐衬垫层上表面。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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