[发明专利]半导体元件及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201811044897.2 申请日: 2018-09-07
公开(公告)号: CN110890460B 公开(公告)日: 2023-06-30
发明(设计)人: 翁宸毅;张境尹 申请(专利权)人: 联华电子股份有限公司
主分类号: H10N50/01 分类号: H10N50/01;H10N50/10;H10B61/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明公开一种半导体元件及其制作方法,该制作半导体元件的方法主要先形成一磁性隧穿接面(magnetic tunneling junction,MTJ)于一基底上,然后形成一衬垫层于该MTJ上,去除部分衬垫层以形成一开口暴露该MTJ,之后再形成一导电层于开口内,其中导电层上表面切齐衬垫层上表面。
搜索关键词: 半导体 元件 及其 制作方法
【主权项】:
暂无信息
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