[发明专利]倒装机及晶圆料片的导向装置

摘要

本发明公开了一种倒装机及晶圆料片的导向装置，包括：基座；放料台，放料台与基座沿晶圆料片的取放方向相对间隔设置，放料台上设有第一通孔导向组件，导向组件包括至少两根相对间隔设置的导向柱，至少两根导向柱围设形成放料区域，至少两根导向柱凸出放料台设置、且配合形成用于使晶圆料片落入放料区域的导入部；及升降柱，升降柱设置于放料区域内，升降柱的一端设置于基座上，升降柱的另一端设有用于承托晶圆料片的承托部，承托部能够穿过第一通孔、用于使晶圆料片沿取放方向往复移动。本发明的倒装机及晶圆料片的导向装置，能够使得晶圆料片在水平面上实现准确的定位及保持稳定，准确的放置于预设的放料位置，方便后续工序的进行。

主权项

1.一种晶圆料片的导向装置，其特征在于，包括：基座；放料台，所述放料台与所述基座沿所述晶圆料片的取放方向相对间隔设置，所述放料台上设有第一通孔；导向组件，所述导向组件包括至少两根相对间隔设置的导向柱，至少两根所述导向柱围设形成放料区域，至少两根所述导向柱凸出所述放料台设置、且配合形成用于使所述晶圆料片落入所述放料区域的导入部；及升降柱，所述升降柱设置于所述放料区域内，所述升降柱的一端设置于所述基座上，所述升降柱的另一端设有用于承托所述晶圆料片的承托部，所述承托部能够穿过所述第一通孔、用于使所述晶圆料片沿所述取放方向往复移动。