[发明专利]芯片封装机在审
申请号: | 201810511313.1 | 申请日: | 2018-05-25 |
公开(公告)号: | CN108598024A | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 王加骇 | 申请(专利权)人: | 王加骇 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315301 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及半导体技术领域。芯片封装机,包括机架组件及其上的芯片进料装置、芯片定位装置、搬运机械手装置和自动包装装置;芯片进料装置用于实现待包装芯片的上料功能;芯片定位装置与芯片进料装置相衔接,芯片定位装置用于定位待包装芯片;搬运机械手装置用于芯片进料装置、芯片定位装置和自动包装装置之间芯片工件的搬运;自动包装装置与芯片定位装置相衔接,自动包装装置用于料杯的上料、热封膜的上料以及热封膜与料杯的热封。该芯片封装机的优点是可以全自动完成半导体元器、料杯和热封膜的上料,并完成半导体元器的封装,加工效率高。 | ||
搜索关键词: | 芯片定位装置 自动包装装置 进料装置 上料 芯片 芯片封装 热封膜 料杯 搬运机械手 包装芯片 元器 半导体 半导体技术领域 衔接 机架组件 加工效率 热封 封装 搬运 | ||
【主权项】:
1.芯片封装机,其特征在于包括机架组件(1)及其上的芯片进料装置(2)、芯片定位装置(3)、搬运机械手装置(4)和自动包装装置(5);芯片进料装置(2)用于实现待包装芯片的上料功能;芯片定位装置(3)与芯片进料装置(2)相衔接,芯片定位装置(3)用于定位待包装芯片;搬运机械手装置(4)用于芯片进料装置(2)、芯片定位装置(3)和自动包装装置(5)之间芯片工件的搬运;自动包装装置(5)与芯片定位装置(3)相衔接,自动包装装置(5)用于料杯的上料、热封膜的上料以及热封膜与料杯的热封;自动包装装置(5)包括包装机架(51)、料杯上料收料机构(52)、热封膜送料机构(53)、芯片上料口组件(54)、压边组件(55)、料杯导杆(56)、料杯走料机构(57)和压膜导轨(58);包装机架(51)固定设置在机架组件(1)上,料杯上料收料机构(52)设置在包装机架(51)上;热封膜送料机构(53)设置在包装机架(51)上,热封膜送料机构(53)位于压膜导轨(58)上方;芯片上料口组件(54)和压边组件(55)位置对应压膜导轨(58)内的料杯;料杯导杆(56)固定设置在包装机架(51)上,料杯导杆(56)位于压膜导轨(58)下方,料杯导杆(56)位置对应料杯,料杯导杆(56)用于保持料杯水平;料杯走料机构(57)安装在压膜导轨(58)下方,料杯走料机构(57)用于将料杯实现步进式进给运动;沿料杯的进给方向上料口组件(54)、热封膜送料机构(53)、压边组件(55)依次排列。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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