[发明专利]芯片封装机在审
申请号: | 201810511313.1 | 申请日: | 2018-05-25 |
公开(公告)号: | CN108598024A | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 王加骇 | 申请(专利权)人: | 王加骇 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315301 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片定位装置 自动包装装置 进料装置 上料 芯片 芯片封装 热封膜 料杯 搬运机械手 包装芯片 元器 半导体 半导体技术领域 衔接 机架组件 加工效率 热封 封装 搬运 | ||
本发明涉及半导体技术领域。芯片封装机,包括机架组件及其上的芯片进料装置、芯片定位装置、搬运机械手装置和自动包装装置;芯片进料装置用于实现待包装芯片的上料功能;芯片定位装置与芯片进料装置相衔接,芯片定位装置用于定位待包装芯片;搬运机械手装置用于芯片进料装置、芯片定位装置和自动包装装置之间芯片工件的搬运;自动包装装置与芯片定位装置相衔接,自动包装装置用于料杯的上料、热封膜的上料以及热封膜与料杯的热封。该芯片封装机的优点是可以全自动完成半导体元器、料杯和热封膜的上料,并完成半导体元器的封装,加工效率高。
技术领域
本发明涉及芯片技术领域,尤其是芯片的生产设备。
背景技术
芯片生产和检测完成之后,就要将芯片通过放入绝缘料杯中然后用热封膜封住。现有的封装方式如下:通过机械手移动,将芯片逐个放入位置固定的绝缘料杯的盛料腔中,料杯是规则排列的多个,一排绝缘料杯的盛料腔放满芯片后,将绝缘料杯移动至热压膜设备下方,热压膜将盛料腔封闭,完成芯片的封装。现有芯片封装设备存在的不足是加工效率低。
发明内容
本发明的目的是提供一种加工效率高的全自动芯片封装机。
为了实现上述目的,本发明所采取的技术方案是:芯片封装机,包括机架组件及其上的芯片进料装置、芯片定位装置、搬运机械手装置和自动包装装置;芯片进料装置用于实现待包装芯片的上料功能;芯片定位装置与芯片进料装置相衔接,芯片定位装置用于定位待包装芯片;搬运机械手装置用于芯片进料装置、芯片定位装置和自动包装装置之间芯片工件的搬运;自动包装装置与芯片定位装置相衔接,自动包装装置用于料杯的上料、热封膜的上料以及热封膜与料杯的热封;
自动包装装置包括包装机架、料杯上料收料机构、热封膜送料机构、芯片上料口组件、压边组件、料杯导杆、料杯走料机构和压膜导轨;包装机架固定设置在机架组件上,料杯上料收料机构设置在包装机架上;热封膜送料机构设置在包装机架上,热封膜送料机构位于压膜导轨上方;芯片上料口组件和压边组件位置对应压膜导轨内的料杯;料杯导杆固定设置在包装机架上,料杯导杆位于压膜导轨下方,料杯导杆位置对应料杯,料杯导杆用于保持料杯水平;料杯走料机构安装在压膜导轨下方,料杯走料机构用于将料杯实现步进式进给运动;沿料杯的进给方向上料口组件、热封膜送料机构、压边组件依次排列。
作为优选,压膜导轨包括第一压轨和第二压轨,第一压轨和第二压轨安装在包装机架上,第一压轨和第二压轨之间留有供料杯穿过的料杯通道;第一压轨包括第一上压轨和第一下压轨,第二压轨包括第二上压轨和第二下压轨,第二上压轨和第二下压轨的内端均设有向内凸出的压边,料杯处于压边下方,从热封膜送料机构上输出的热封膜g压紧在两块压边之间的料杯上。
作为优选,料杯上料收料机构包括第五电机、上料盘、上料盘支柱、收料盘支柱、第一转动座、第二转动座、第一滚轮、第二滚轮、第三滚轮、橡胶带和收料盘;上料盘安装在上料盘支柱的转轴上,上料盘支柱固定设置在包装机架的一端上;收料盘支柱固定设置在包装机架的另一端上,第一转动座和第二转动座分别设置在收料盘支柱两侧;第五电机输出轴连接第一滚轮,第五电机设置在包装机架上,第二滚轮安装在第一转动座上,第三滚轮安装在第二转动座上;第一滚轮、第二滚轮和第三滚轮之间通过橡胶带实现同步传动;收料盘设置在第二转动座的中心轴上;热封膜送料机构、芯片上料口组件、压边组件、料杯导杆、料杯走料机构和压膜导轨处于上料盘和收料盘之间。
作为优选,热封膜送料机构包括固定支座、热封膜料盘、固定座、压紧调节螺钉、导向滚轮、摆动滚轮和调节块;固定支座和固定座设置在包装机架上,热封膜料盘安装在固定支座上端;调节块与固定座通过导向滚轮的转轴形成转动副连接,摆动滚轮安装在调节块上;压紧调节螺钉通过螺旋副安装在固定座上,压紧调节螺钉下端与调节块接触;导向滚轮和摆动滚轮位于压膜导轨上方。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造