[发明专利]芯片封装机在审
申请号: | 201810511313.1 | 申请日: | 2018-05-25 |
公开(公告)号: | CN108598024A | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 王加骇 | 申请(专利权)人: | 王加骇 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315301 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片定位装置 自动包装装置 进料装置 上料 芯片 芯片封装 热封膜 料杯 搬运机械手 包装芯片 元器 半导体 半导体技术领域 衔接 机架组件 加工效率 热封 封装 搬运 | ||
1.芯片封装机,其特征在于包括机架组件(1)及其上的芯片进料装置(2)、芯片定位装置(3)、搬运机械手装置(4)和自动包装装置(5);芯片进料装置(2)用于实现待包装芯片的上料功能;芯片定位装置(3)与芯片进料装置(2)相衔接,芯片定位装置(3)用于定位待包装芯片;搬运机械手装置(4)用于芯片进料装置(2)、芯片定位装置(3)和自动包装装置(5)之间芯片工件的搬运;自动包装装置(5)与芯片定位装置(3)相衔接,自动包装装置(5)用于料杯的上料、热封膜的上料以及热封膜与料杯的热封;
自动包装装置(5)包括包装机架(51)、料杯上料收料机构(52)、热封膜送料机构(53)、芯片上料口组件(54)、压边组件(55)、料杯导杆(56)、料杯走料机构(57)和压膜导轨(58);包装机架(51)固定设置在机架组件(1)上,料杯上料收料机构(52)设置在包装机架(51)上;热封膜送料机构(53)设置在包装机架(51)上,热封膜送料机构(53)位于压膜导轨(58)上方;芯片上料口组件(54)和压边组件(55)位置对应压膜导轨(58)内的料杯;料杯导杆(56)固定设置在包装机架(51)上,料杯导杆(56)位于压膜导轨(58)下方,料杯导杆(56)位置对应料杯,料杯导杆(56)用于保持料杯水平;料杯走料机构(57)安装在压膜导轨(58)下方,料杯走料机构(57)用于将料杯实现步进式进给运动;沿料杯的进给方向上料口组件(54)、热封膜送料机构(53)、压边组件(55)依次排列。
2.根据权利要求1所述的芯片封装机,其特征在于压膜导轨(58)包括第一压轨(581)和第二压轨(582),第一压轨(581)和第二压轨(582)安装在包装机架(51)上,第一压轨(581)和第二压轨(582)之间留有供料杯穿过的料杯通道;第一压轨(581)包括第一上压轨和第一下压轨,第二压轨(582)包括第二上压轨和第二下压轨,第二上压轨和第二下压轨的内端均设有向内凸出的压边(583),料杯处于压边(583)下方,从热封膜送料机构(53)上输出的热封膜g压紧在两块压边之间的料杯上。
3.根据权利要求2所述的芯片封装机,其特征在于料杯上料收料机构(52)包括第五电机(520)、上料盘(521)、上料盘支柱(522)、收料盘支柱(523)、第一转动座(524)、第二转动座(525)、第一滚轮(526)、第二滚轮(527)、第三滚轮(528)、橡胶带(529)和收料盘(5210);上料盘(521)安装在上料盘支柱(522)的转轴(5211)上,上料盘支柱(522)固定设置在包装机架(51)的一端上;收料盘支柱(523)固定设置在包装机架(51)的另一端上,第一转动座(524)和第二转动座(525)分别设置在收料盘支柱(523)两侧;第五电机(520)输出轴连接第一滚轮(526),第五电机(520)设置在包装机架(51)上,第二滚轮(527)安装在第一转动座(524)上,第三滚轮(528)安装在第二转动座(525)上;第一滚轮(526)、第二滚轮(527)和第三滚轮(528)之间通过橡胶带(529)实现同步传动;收料盘(5210)设置在第二转动座(525)的中心轴上;热封膜送料机构(53)、芯片上料口组件(54)、压边组件(55)、料杯导杆(56)、料杯走料机构(57)和压膜导轨(58)处于上料盘(521)和收料盘(5210)之间。
4.根据权利要求2所述的芯片封装机,其特征在于热封膜送料机构(53)包括固定支座(531)、热封膜料盘(532)、固定座(533)、压紧调节螺钉(534)、导向滚轮(535)、摆动滚轮(536)和调节块(537);固定支座(531)和固定座(533)设置在包装机架(51)上,热封膜料盘(532)安装在固定支座(531)上端;调节块(537)与固定座(533)通过导向滚轮(535)的转轴形成转动副连接,摆动滚轮(536)安装在调节块(537)上;压紧调节螺钉(534)通过螺旋副安装在固定座(533)上,压紧调节螺钉(534)下端与调节块(537)接触;导向滚轮(535)和摆动滚轮(536)位于压膜导轨(58)上方。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造